- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
???????????????????δ???????????????
2017-07-05 20:32:23 ???????????? ?????0 ?????
???????????????????????????????Я??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????OIST?????о??????????????μ??????裬???????????????????????????????????????????????????
????о??????????????????????????????????Щī?????????檔????????????????????????????????壬???????????????????£?ī??????????????????“APTES”??????????????????????????
??????о???????????????ī?????????????????????????????????????????????????????????????л????????APTES??????????γ?APTES??????????????????????????????????????????????????????ú????????????????·????????????????????????????????????????????????????APTES???????????????????????
?о????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
?????APTES???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????????????鯰??????????????????6??????c????????????????????????????崦????????????????????????????Ч??
?о??????????????????????????????????????????????踴??????????????????
?????????
??????????????????? ?????? ?????
??????????????????????????????????
???????????????????????????????????????????????????????
??????????
- ?????????????????????????
- ????????????漡????????????????繅???????о????
- ???????????л??緋?????????????????
- ?????????????????????????????????????
- ??????????????????繅??????????????е???????????
- ????????о????????????????????????
- ???????????г?????????????????
- ?????????????????????????????δ??????
- ??????????????????о??е??????
- ??????о???????о???3D???????????????о?
???????????
- 53????????????????????????????????????????...
- 48???????????????????????????????????????
- 43?????????????????????????????????
- 42???μ????????????????????????????
- 40????????繅????????????????????????????????????
- 38????????????????????????????巢???????г?????...
- 23??????????л????????????????????????????????...
- 12“??????+?????”???о?????????????????????????...