- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
???????????????????????????????????????????????
2019-11-10 07:33:43 ???????????? ?????0 ?????
?????????????????????£?Panasonic?????????????о????????磨Institute of Microchemical Technology Co., Ltd., IMT?????????????????ò??????????????????????????????????????????????????????ü??????????????1/10??????????10????????????????
?????????????
??????????????????????????????????????????????????????к?????????????????2019???????????????????????2020??????????????????o?IMT????11??19??~21?????????????????о??е??40???????????????饗CHEMINAS 40th?????????Щ???????????
?????
?????????????????????????????????δ??????á???IMT???????????????????????μ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ó????????????????????????????????????????????豸???????????????????
????á?
???????????????????????????????????????????????????????е??????????????????????????????????С???????????豸??
??e?????????????????????
???????
????????????????????????????????
1. ???φ50 mm
2. ?2??????10000?
3. ???????????????1 μm
????????
??1???????????????????????????????????????
??2???????????????????????????????????????????????????????????????????
??3???????????????????岣?????????????????????
????????
???????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ??????????????????л?е????????????????????????о???????????IMT????????????????????????????????????????滮???????????????????????????????????????????????????????????????????????μ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???
??????棬??????1980???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸??????
????????μ???????????????IMT????????????????????????ò????????????????????????????????????????????????????????o?IMT???????????????????????????????????????????????????????????????????????1/10???????????????????????????10????????????????????????
?????????
?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з?????????????????????????????????豸?????????á?
?????????
?????????????+?????????????????????塱???????????????????????
??????TTP Ventus??????????????????г?????????????????
??????????
- ?????????????????????????
- ????????????漡????????????????繅???????о????
- ???????????л??緋?????????????????
- ?????????????????????????????????????
- ??????????????????繅??????????????е???????????
- ????????о????????????????????????
- ???????????г?????????????????
- ?????????????????????????????δ??????
- ??????????????????о??е??????
- ??????о???????о???3D???????????????о?
???????????
- 53????????????????????????????????????????...
- 48???????????????????????????????????????
- 43?????????????????????????????????
- 42???μ????????????????????????????
- 40????????繅????????????????????????????????????
- 38????????????????????????????巢???????г?????...
- 23??????????л????????????????????????????????...
- 12“??????+?????”???о?????????????????????????...