- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
?????????????SAW????????β???Ч???
2022-06-11 11:16:38 ???????????? ?????0 ?????
??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????SAW?????????????????????????SAW???????????????????????????????????????Ч????????????????????????????????????á??????о??У????????????????????????????????????????????÷??????ù??????????????????SU-8?????????????????????????PDMS?????????????飩?????????????????????????????????????????????????????????Ч???
????SU-8???????SAW???????????
?????β??????????????????????????????????????α?????????????????????????????????????50???????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????????ú???????????????
?????????????????????????????????????????????????????β???COPD???????????????????ζ?????????????????????????????β??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????á?
????????????????????????????????й????????????????????????й????????????????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????β????????λ????????о??????????Щ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????o????????????????Ч???????????
??????????????β???????????????????????????????????????????????????????硢???????????????????????о???????????????????С?????????????Ч?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С?????????????С??0.5μm??????????о?????????????????????????????????????1~5μm??β??????????Χ??
???????????????????MDI??????????????DPI??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Э?????????????????????????????????????????????????Щ??????????????β???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е????????????????????е?????
?????????г?????????????????????о?????????????????????????SAW???????SAW??????????????洫?????????????????????????????????????С?? 1 MHz??????SAW????????????????????10 MHz???????????????????1~10 μm??Χ??????????SAW?????е???????????????Ч????????????????????崫??????????????SAW??????????????????????????????????????η?????SAW??????·???????SAW????????????????????????й???????????LSAW?????????沨?????????????????????“???????Rayleigh angle??”????б??й???????С???????????????в????????????????????????????????????????????????
?????SAW??????????ò??????????????????????SAW???????????????????SAW???Я????????·????????
???????????????????Ч???????????????????????????γ??????????SAW????????????й??????????絰?????????????????????????????????????????????????????????????Anushi E Rajapaksa?????????SAW??????????????????DNA??ε??緶Χ?????????o???????Layla Alhasan?????????SAW?????????????????Ч?θ???????????????????Щ?о???SAW???????????????1~5μm??????????????????
?????????????????SU-8??????????SAW????????????????????????????????60 MHz?????????5.26W??
?о???????????????????????????????????????????С????Σ??γ????????????????????????????????????????????????SU-8??????????SAW????????????????????????????????75%???????????????????????????46%???????????????壨P < 0.01??????????????????????????????SAW????????г????????????????????????????Щ????SAW????????????????????????????????????????С????????????Я???????????????????????????????????????????β???
?????????https://www.nature.com/articles/s41598-022-11132-9
?????????
??????????????Bio-FET????????????????????????????
???????????????????????????????????????????????
??????????
- ?????????????????????????
- ????????????漡????????????????繅???????о????
- ???????????л??緋?????????????????
- ?????????????????????????????????????
- ??????????????????繅??????????????е???????????
- ????????о????????????????????????
- ???????????г?????????????????
- ?????????????????????????????δ??????
- ??????????????????о??е??????
- ??????о???????о???3D???????????????о?
???????????
- 53????????????????????????????????????????...
- 48???????????????????????????????????????
- 43?????????????????????????????????
- 42???μ????????????????????????????
- 40????????繅????????????????????????????????????
- 38????????????????????????????巢???????г?????...
- 23??????????л????????????????????????????????...
- 12“??????+?????”???о?????????????????????????...