?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????в???????????????????о???????????????????????????????????С?????????????????Що??????????????????????????????????????????????????????????Щ???????????????????绹???????????????????????????3D????????????????????????????磬???????????????????????????????????????г?????????3D????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????????

????????о????????

?????????????????????????????????????????о??????????緋???????????????????????????????м??????Ч????Я???????????????????????????????????????????????????????????????Щ???????????????????????

???????????漰????????????????????????????????磬?ü??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????漰?????????????????ù??????????

????????????????????????г??????????????????????????????е?????????????????ü????и???????????????????????????????????????Щ????????????????????????????о?????????????????????????MEMS???е??????????о???????????????????????????????????????????????硣

?貣??????????????????????????????????????????????????Щ??????????????????????????????á???????????????????????????????????????????????????????????????е????????

????????????????????????????饗PDMS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????PDMS???????ж??????С???????????????????????????????????????????????о??????????????????????????????????????????????????????PDMS???????????????????????????????????????PDMS????????????????????????????????????????Ρ?????PDMS????????????????????????????????????????????????????????????????????PDMS???????????????????????????????????????

??Щ???????????????????????????Я??????????????????о??????????Ч????????????????????????????????????????????????????????????????á?????????????????????????????????????????????????????????????о???????????о???á?

??????棬Xurography?????????á??????????????????????????????????????????ü??????????潺?????????и???????????????????????????????????Xurography?????????????????????????????緽?????????????????????????????????????????и???3D?????????????Xurography????????????

?????????????????????????CNC???????????????????????????????????PMMA??????????????????????????е????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????о??????????

?1???????μ???????????????????????????????????????????????????????????????????PMMA???????????????????Ч????????????????????????????PDMS?????????????????????????????????PCR????????????????????????????????????????????????????????PCR?????????????????????????????????????????е???貣???????о?????????????????????壬??????????????????

?????Щ?????????????????????????????????ü???δ?????????????????????????????????????????￡????????????????????????????о??????Scientific Reports???????????????“Microfluidics chips fabrication techniques comparison”????????????????о????????о?????????????????????????????о????????????????????????????????????о???????????????????????????????PMMA?????????????????????Xurography??????????????PDMS?????о???????????貣?????????????

PDMS???????????о?????????????????????????????????????????????????????????????PMMA?????????????????????????????????????????????徹????????????????????????????????岻????????????????????????????PDMS???????????????????????????????????????????С???????????PDMS????????????????????????????á?????PDMSо?????????????????????????????????????????

???????PDMS?????о??????????

PMMA???????????????????????????????????????????????????PMMA?????????????????????????????????????е?????????????????????????????????????????????????????????????????PDMS??PMMAо?????????????CNC???????????????????????????????????????????????????CNC???????????н???????????????и??????????????????????С??????????????????ó?????????????????С???????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????????Ч?檔PMMAо????????????????????????????????????

???????PMMA?????о??????????

Xurography??????潺???????????????????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????Щ??????????????????????

??????Xurography?????????о??????

?貣??о??????????????????????????????????????????????????????跱?????DRIE??????????豸???????????????????????????????????????????????????????

???貣???????о?????????

?????????????о??????????????????????á????????????????????????????????????磬PDMS??С????????о??г??Ч?棬???о??????1??5????????????????????С?????????PMMA??????п????????????????????????????????10?????100??????????????????????????λ????????CNC????????????????????????????о??????á?Xurography????????????????????????????????????????貣??????????С????????????о?????????????100????????????????????????????????

???????????????????????и????????????????????????????????????????????????????????????磬??????????????????????????????????????????ù貣??????????????????????????????????????????????????????Xurography??CNC???PMMA??

????????????????????????????????????????????????????1????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????

?????????

???????????????????????????г?-2022?桷

???????????????????????????????????????

??????????????????????г?-2024?桷