???μ??????MEMS???繳???????????????豸????????????????????????????Щ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????

80KHz??????????????3D?????????????????????????????????????????????????????￥??????Knowles Corp.?????????????????????????????????????MEMS???磬???????3D???????????????????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????豸????????Χ??????????????????穤????????????????????????????????????棬?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????￥?????????????????????????????????Thibault Kassir?????“??????????????????3D????Ч?????????????????3???????????????????????????磬?????????????????????????????С??”

??????MEMS???????п?в???????????????????????????????????????????????μ????????????????Knowles??

￥??????SPH0641LU4H-1?????3.50 x 2.65 x 0.98 mm????????????????????????Χ??????????????????3????????????λ????????λ?????????????5?????????????????????????????????

“?????????????????????????????????????????????MEMS?????????”Kassir?????“??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????硣???磬????????????е???????????????穤??5??????????????2????????????á?”

????????????????????????????????豸??????????????????????????????????????????￥??????????????????????????????????????????????????????????????????????????“???????”?????????????????????????????????????????硣

??????MEMS??????????????SNR???64.3dB??A????????????20kHz???????????????????????????235mA?????????±1dB????????2014?????????????