????????豸?????????豸?????????????????MEMS??????????????????????????????????????????幤??????????????????????????????????(????????)???MEMS?????????????????????????????????Taiwan MEMS Sensor(???TMS)?????????????幤???????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????

??幤??????????????????MEMS??????ж?????????????????????????????????????????????????μ???????幤?????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????MEMS??á???ν?????幤???“?????????MEMS???紫?????”???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ò?????????????????棬????????????????????Э??????????????????г???????????·??

??????3??????????????????????????豸???????????????????幤?????“???????”??????з????????????????MEMS???硣????????ε????????????????????????????????????????????????????????????????????IC??MEMS Sensor??????????????????????????MEMS Sensor???????????????????????????????Taiwan MEMS Sensor?????????????????????????????????????????????????????????????к????????????????????????????硢Ultrasound??????????????

??幤??????????????????????????????幤???????ò?????????????￡?????????????缼???з??????????????MEMS????????????????????????鼼?????????????????????MEMS???缼?????????????????????y????????????????????????????????MEMS???磬????????“???????????”??????С????????20%??????50%?????????????????????????????????Ч?????????????????3C?????????????豸????????豸?????????????????????????????????????ν???????????????IC??????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????MEMS???磬?????????“??”???г????????￡?????????????MEMS?????г??????

?????ε????????幤???????????????????????????????????????????????MEMS???紫?????????μ?????δ???????????TMS?????????????????MEMS?????????з??????????????????????????μ?MEMS???缼????????????????????????????????????

?????????

?????????????????????????????????????????????????????鲼?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч???

???????????????????????????????????????????????????????鰱?????????????????е???????Ч???????????????С?????????? Small Array Microphone (SAM ®) ?????????????????ж??綽??????2006????NTT DoCoMo???Я???????????????????????????????RAKURAKU III??

?????繫???????????????????ASIC??????????????????????????SAM, SAMSoft ® , ???ForteVoice ®??????????????????????????????????С??????????????????200????????????????75???????????????