??????????????????????????????????о?????AIST???????????????Keio University?????о?????????????Scientific Reports?????????????“Highly sensitive low-frequency-detectable acoustic sensor using a piezoresistive cantilever for health monitoring applications”??????????????????????????????MEMS???磬??????????????????????0.1 - 250 Hz??????Χ????????0.2 mPa??????????????????????????MEMS??????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????崫???????з??????????з??????á?

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??????崫??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????硣???????????????????MEMS??????????С????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸?????崫???豸???

???????????????????????????????SNR???????????????????????С??????????????????????MEMS????????????????????????????????????MEMS????????????74 dB?????????????С?????0.32 mPa???????????????MEMS?????????????????????Χ??20 Hz – 20 kHz?????????????????????????????????????

???????????Χ??<20 Hz??????и???????MEMS????????????????????????磬?????????й?????????????????????Χ???0.01 – 20 Hz????????????????У??????????????Χ?10 – 250 Hz??“????????”??????????1 – 30 Hz??????????????й????????????????????1 Hz????????г??????????崫?????У???????????????????????????????????????????????????????????Щ????????????????????????????????20 Hz?????????MEMS????????????????????????????????????

???????????о????????????????0.1 – 250 Hz??????Χ????и???????MEMS???硣???????MEMS??????????????????????????????????1A?????????????????????????????????????????????μ??跢???仯???????????????????????輴????????????????о??У????????????????????????????????????Щ??????????????1 Hz????????????????????????????????????????????????????????????????????????20 mPa?????????????????????????о??????У????????????д???????????????????????????MEMS????????????????????????????????1 Hz????μ???С???????????200 μPa?????о?????????????MEMS???????????????????????????????о???????????????????????????

????????????????MEMS??????????????1B?????MEMS??????????????????2?????????0.34/0.4/250 μm????????裨silicon-on-insulator??SOI???????????????MEMS???硣?????????????SEM??????1C?????????????????????5.4 kΩ??

?1 ????????????????MEMS?????????????????

?2 ????????????????MEMS??????????????

?о????????3A??????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????3B??????????ж??????????????MEMS?????ο????磨??????3?Brüel & Kjær??4955??????????????????????????Kenwood Corp.??KFC-XS174S???????1???????????1 - 1000 Hz??????Χ?????????MEMS???????????????????????NSD?????3C??????3D????????????MEMS?????????????1 – 250 Hz??????Χ??????????80 dB/Pa???????о?????????????????????????????????仯??????MEMS?????????????????????????У???????????????30 Hz????????????????????0.5 - 10 V??Χ??仯?????????????????3E??????????????ο?????????????м????????????????????仯???????????????3F?????

?3 ????MEMS?????????????????????????????ü????????

?о?????????????????????β????????о?????????????????MEMS?????????5 Hz????μ???????4A??????MEMS?????ο??????????????????????????????????????任???????4B??????????????????????????????MEMS???繳???????Χ??????и???????????????????饗?3??????????

?4 ????MEMS?????????????????????ü????????

?о?????????????????????????????????????????????MEMS?????????????е???á??????????????????о??????????????37????????????3d????о???????5A?????????50????????????????5B???????15-17????????????????????С??????????????????5C??5D??????5E??????????????????????????С??????????????????????S1???????????S2???????????Χ????7 - 100 Hz??20 - 45 Hz?????????????????????????????????????S1??????????????????????????????????????????5F????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????豸????????????

?5 ???MEMS?????????????????????????????

???????????????о??????????????MEMS??????????????MEMS?????????0.1 - 250 Hz??????Χ??????0.2 mPa??????????????????????????MEMS????????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????340 nm???????????300 μm?????????????10 μm???200 μm??????????????????????????????????????????????10⁻² Pa⁻¹????????????????????????????????????40???????????????????ο???????????????????????????????MEMS???????????????????и?????????????о??????????MEMS???????????????58 dB??????????????MEMS??????????????????????????????????????????崫???????з??????????з??????á?

?????????https://doi.org/10.1038/s41598-023-33568-3

?????????

??MEMS???????????????-2022?桷

??MEMS?????????????????????-2022?桷??