?1???????????????????о?????ENAS????????????????TU Chemnitz??Я???????о???ν?????????????????豸??С??????????????????????????????????Dresden???μ??????????SEMICON Europe??????????????о???????????????????????MEMS?????????????????????????????????????

Fraunhofer????????Я??????????????????????MEMS?????????????????????????????????????豸

Fraunhofer???67???о??????鲼?1??????????????????????????????????????23,000???????????????з??????20??????????е?30%??????????????????70%?????????????????

????MEMS???????????????——С???????????????????????Ь?е???????????????￡????е????????????????????????С????????MEMS????????????????????3-11???????????????????????????????/????FWHW??????????50-200nm?????????

???MEMS????????????????飬????TO-8???

????????????????2???????????????????????70%?????????????????????????????????????????????С????

??????????????????СFabry-Perot???????FPI????о????? 7mm x 7mm x 0.6mm

???????????????????????в???????????????????Χ???????????????????Щ?????ù???????????????????e????????????????????????????????????????????????

??С??????????Fabry-Perot???????FPI?????????????????TO-8?????С??硣???FPIо?????7mm x 7mm x 0.6mm????????????????????????????????????????佇?????С???????????????????????????????????????????????????????????????????ATR????????????????????????????????