?????????????????????з???????????????????????PDK?????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????

??????

?????????????????????????????????о????????????????????????????????????????????????Э??????????

??????????о??????????????????????????????????????????????о???ɡ????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ?????????????????? MPW ??????з?????????????????

????????????????????????????????????????????????????????——?????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????

???????

????????????????????????°?????????2012??3???????“?????????????磨NNMI??”???????????????8??????????У?????????????????????????????“?????????????????AIM Photonics??”??“???????????????????????“?????????”??”??????????????“???????????????????????????“????????”??”??

????????????????

2015??7?￡?????????????????“????????????????”??????з?????????????????????????????????????????????????????????????????????о??????RF SUNY?????????????124????????6.12???????????????????????1.1??????????????2.5???????

??????????????????

??????????????????????????????????????????????·????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????·??????????????????

δ?????

?????????????????????????汾?????δ???????????????????????????????μ???????????????????С?

????????????????????????2017???Щ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????н????????????????

?????????????????????????й???????????????????????o??????и????Michael Liehr?????“ ?????????δ????????????????????????????????????п???????????????о????????????????????????????????????????????? ”