???????????????????????о????Samsung Advanced Institute of Technology??SAIT?????о???????????о????????????????????RGB??????????????????CMOS???????????????С???????????

???????????????????????????С????????10μm????????2μm????????????????????????С???Ч?????????????????????

?о?????????????????Nano Letters??????????“????????????????????β?????????????CMOS???????????????Visible Wavelength Color Filters Using Dielectric Subwavelength Gratings for Backside-Illuminated CMOS Image Sensor Technologies?????????????????????????е?RGB?????????????ò????????????????t???Ч??????40-50%????????????????????????????β????????????????????????Ч??????????

???????Bayer pattern?????1μm?????????SEM?????????????500nm??

?????о??????5μm??1μm??Χ?????????紴?????????????????????????????RGB???????????????????????ù???????????SO2???????????裨poly-Si??????????????????Ч??????????????????????????? ?????????????С?

?о??????????綴????????????????????????RGB?????????????80nm??????????????????????????BSI???????????????????115nm???SiO2?????????????????????ξ??????90nm?????????250nm??????????????????????ξ??????180nm??????140nm????????????????????????????????ξ??????240nm?????????270nm?????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????y????????????????????????????????????????У???????????????????????????????С?????????????????????????????????????????????????С???

????????????????????????????????ж??????????????????????????????硣??????????????????????CMOS?????????????????弤???????????????????????????????о???????????????????????????

?о???????????????????????????????????????λ?????????β???????????????????????????????????????????β??????????????????????????????CIS????????????????

??????????Samsung????????????IP??????????????????????????????????????????У????д??????????

?????????

??CMOS???????????????