?????????????????е???????????????????????????????????????????????е??????????飬????????????????????????????????????

???????????????????????????????????????巢????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С???????Я??????????????????С??????????????????????????????????????????????????г???????

????????????????????????з????????????MOEMS?????????????????????MS??е?????С??C12666MA/C12880MA????????????????????????????????????????????г??????????????????C12666MA???????????????????????“?????”??“Prism Award”?????????????????????λ“?????”???????????????“??С????????????????????????”????α???????壺??????SMD??????????C14384MA??

????SMD??????????C14384MA

SMD??????????C14384MA????????????????????????????μ??????APS??CMOS????????????????????????????????????????????MS????????2?????????1/14?????????1/30????????????50????????????????????л??????????????????????

???????г??????????????

SMD?????MS??е??????????????

?????????????У?????????????????????????????????????????ò????????????????????仯????????????????????????????з?????

??1??????800nm?????

??2??????1000nm???MS?????????????????ο??1??

??3??????850nm???

??????????????????

??????????????????????????????????С??????????????????

???????С???磬??????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ???????????????????????μ???????????????2?????侵?????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????SMD??????????????????????????侵???????????η??侵????е???????????????η??侵????????????з??????????潫???????????????????????????????????????????????????????????侵???????????????????????????????????????????????????????

????????????????????????

????SMD????????????????????????Σ????????????????????????????η??侵???????????????????о?????????????????????????????????????С??????????????????????????????????????????????????????????SMD???????????????????????????????

??C12666MA?????????SMD???????????????“Prism Award”????????????????????Χ??2019??“?????????????”?????Finalist????????????ɡ?

????????СС?????Σ?SMD???????????????????????????韁?????н????????Я???????????????????豸???????????????????????????????????????????????????????????з??????á?

?????????

??????????????:C12880MA??

??Consumer Physics???SCiO?????????????Я????????

??Consumer Physics???SCiO??????????????????

??nanoLambda??????????NSP32-V1??