??????????侵??????????????????????????????Ｄ??????????????????????

?????????м????????????????Щ???????????Ч???????????????????????????????????Щ???????????????????????????????????????????????????????η????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????VCSEL???????淢?傷???????????????????????VCSEL???????1977???????????????????????Kenichi Iga??????????????????????????????????????????????????????????????????傷??????EEL???ο?????????????傷??????EEL???г??????????-2019?桷???????????CD???????????????????????????????и??豸?????????????????????????????????????????????????????????????????VCSEL???????????п???????????????iPhone X??????VCSELо???????????????????????á???3D???????Face ID?????????????????????????VCSEL?????????????????????VCSEL??????г???????????????????????????VCSEL??????Yole????VCSEL?г?????????-2019?桷??????2018??VCSEL?????г????????7.38?????????2024??????37.75???????

?1??2018???2024??VCSEL?г???????

?????????VCSEL?г?????????-2019?桷??

?????????VCSEL???????????Χ??????????????????????????????????????????????????????????????VCSEL?????????????????????????????????????????洢??????????е??????????????????????????VCSEL???????Що????????????????????????????VCSEL??????????????????????????10 mW???ù???????????????????AR???豸???????????????????????????????????????о????????????????????????????????????￡?????VCSEL?????????????

????VCSEL????·

??????????VCSEL???????????????????????????“??????”?????????????????????????????????????????????????“??????”???·??????????譚??

?2????a????EEL?У???????????????Σ??????????????????????????b???????￡?VCSEL??????????????????????????????

?????????????г??????????????????????????????????????????????????侵???????????侵???????侵????????????????????????????????????VCSEL?е?г?????м???????????????????EEL??г???????????????2a???????????????VCSEL???????????????????????????????????侵???????????

???????VCSEL????????????????黯???GaAs??????????????????????GaAs?????????????????????黯????AlAs??????????黯???AlGaAs????????????????侵?????????????????????????г???????????????侵?????2b???????????????VCSEL??????λ????????????????????????????侵?·???????????γ??????????????????????????????????????δ???????????????ò?Ψ??????????????????????????????????????????????傷??

????????VCSEL???????????侵?????е????????????????????????????????????????????н??????????????淴?????????π?????????????侵??????????????????з????????????????????λ???????????VCSEL????????????棬GaAs??AlGaAs??AlAs???????????????????????????????????????????ζ??????侵?????????????????????????????淴?侵?????20??????GaAs/AlGaAs??GaAs/AlAs??????????????99%???

??????黯???????????????????????LED??EEL??????????????????????????????????????????????VCSEL?????????????????????棬??????????????????????????LED???EEL????????е????????г??????п???????????VCSEL????????????????????????????Щ?????????????????????????????????????????????????侵?????????????????????????????????????????????????????????

???????????

?????????????EPFL???????????????????μ?????VCSELС????????Nicolas Grandjean???????????????????????????????????????侵?????????????侵??Grandjean?????????????????????????????????涥?????侵??????????侵??????????16???

??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????侵??????????VCSEL???黯????????????????????AlGaAs??GaAs??????е?????????????￡???????????????????????????????????側???????????????????????????????????????????????????????????

?3??????????????????????VCSEL??????????????????????С?????????????????????????????????????????????Meijo University????????????????????磨Stanley Electric?????о???????????????а????????????????AlInN???????????GaN???????????????侵?????????????????侵????DBR???侵????????????????????????Nb₂O₅??????????裨SiO₂????????????????侵???????GaN????????????????????GaInN?????????

??????????????????????Grandjean????????GaN??AlInN?????????????????????Al_0.83In_0.17N????GaN???????ò????????????????????????????Grandjean????????????????VCSEL??????????AlInN?????????????????????????????AlInN?γ?????????????????????????·???????????VCSEL?У????????????侵??????????????侵?????磬????????????????????繅??

?????е?????VCSEL

Grandjean????????????????????????2007????????????????????????????????????????????????????VCSEL????????????????????VCSEL???е??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????и???????????????????????????????????????????????????????о??????20????90??????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????VCSEL????????????????????????????????????????????????????????????????????а?????????????????????National Chiao Tung University???????????????2008??4?·???????????????????VCSEL??????????????????????????????????о????????????????????????????????????????????????????????2008???°?????????Nichia???о?????????????????????????1?????????VCSEL???????????????????????????Nichia???????????????????д??????Shuji Nakamura?????????????????????????????????LED?????2014????????????????

Nichia??????VCSEL?????????????????????????????侵??????????????VCSEL??????????????????г?????????????????????????????????????????????????????????????????????ú???????????????????????Nichia?????????????2009???乤??????????????????????????????????GaN???????????0.14 mW?????0.62 mW???????仯?????????????????????????????????????

????????Nichia?????????????10?????????????????????????????????????????????GaN???????????е??????ù??????????????VCSEL???????????2011??????????????2012?????????ù??δ???????κ????????????乤????????????

??????????????????

?????????????????????????1 mW??VCSEL???????????????????????????????????2016??????????????????????????1.1mW????VCSEL?????????????????γ??????????侵???????????估???????GaN???????????г????????????????????????????????侵??

??????????????????????????μ??????????10 mW???????????????????и?????????????澵????????????沢?????????????????????γɡ?2018??11?￡?????????Tatsushi Hamaguchi???????????????VCSEL?????12 mW???????????????o??????????????е?????????????Photonics West conference?????Hamaguchi???????????????????????????15.4mW??

???????????????VCSEL???????????????EPFL??????о??????????????????????????????????????2017????????????????????????о?????????????????侵?????AlInN???????侵???????????????4.3 mW??VCSEL?????????????????????Strasbourg, France???????????????????饗International Workshop on Nitride Semiconductors???????????????????EPFL??Grandjean???????????????“??????????????????????”Grandjean?????“????????????????????????????????????????????????????”

????????????????Tetsuya Takeuchi???????????????????о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????VCSEL?????????е?LED??2018??????к???????????????????????????6 mW??????????????＾???п?????????????????????????????裬??????????????15 mW?????г????????????????2019?????Photonics West?????????????22.2 mW?????????????????????????????????????侵????????

???VCSEL?·????????

???????????????????????Щ???????????VCSEL????????????????????LED???EEL?У?????????????InGaN???в??????????????塣???????????е?????????????????????????????????????????????????????????????????????????糡???????????????????????譚?????????

???????Щ?????????????й??????????????о?????????????????????????????о????ο???????????????????-2019?桷?????????????????糡??????????????????????????????????????????????Χ??VCSEL?????????????VCSEL????????????????“???????”?????????????????????????????????????GaN VCSEL?????????????????????????????????????????????????Χ???????????????????

?????????

??VCSEL?г?????????-2019?桷

????????傷??????EEL???г??????????-2019?桷

????????＼?????????????-2019?桷

?????????????????????????-2019?桷

?????????????VCSEL????????

??VCSEL?????????????-2018?桷

??????LED???????????????????ú????????

?????????????????г?????-2019?桷

??????????????-2019?桷