???????????????????????????????????????3D???????????????????????????????е???????????????????????????????????????????á?????????????????????????????????????·????????????CMOS????????????????SPAD??????????????е?????????

??????????????????????????????????University of Glasgow???????????????????Heriot-Watt University???????????????????????Boise State University?????о????????????????????????????????????У??????????赥???????????????????????棨plasmonic metasurface??????????????????CMOS SPAD???м????????????????????5???????????????????????????????????????????????????????μ??????????

??????????????????

??a?????????????β??????????????????????檔??b???????????????p?????????????е?????a???????b??b??a????0.85????????????????У???????????????r₁??r₂????c?????????????????E_ix??y???????????k_z?????????????й??????????????50 nm????????Al??????d?70 nm??

?????????????????????κ????????????У?????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????79%??75%??68%????64 x 64????????????????????γ?????????????

???????????????????

?????a?????????????b????????????c??????????????????????????SEM????????????????d??????e?????f????????????????????????????????????????Lumerica???????FDTD????????FDTD???????????????????????????????f???????????????????????????A??r₁ = r₂ = r??????????B??r₂ < r₁????????????

?????о????????????????????Optical Society of America, OSA?????????Optica??????????Ч????????????????????????????μ?????????????Ultralow-light-level color image reconstruction using high-efficiency plasmonic metasurface mosaic filters????

???????????????SPAD??????????м????????????????????????????ж?????????1??????????????????????????2????????????????????????

??NKT??????????????????????????г??????????????????????????????????460nm??1100nm???????4f????????????????????D1??D2????????????????????????????????????????????????????f????

????????????????

??о????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????壬??????????巵?????????????????????????

5????????壬???ж?????a??b????3cm x 3cm?????

?????????????????????????????????????????20??????????????????7????????????????5??????????????????????????????????

???????????????????????????????????????????????

?????????У??????????????????????繽???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????й?????????????????????????????????????????????????????????500????????????????????????????2500????

?????????????????????????Ч???????????????????????????????????????????????Χ???????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????????????????????????Ч????????????????????????????????????????

???????????????????????????????

?????????????壻??????????????????????????????????????????????????

?????????????????????μ???SPAD??????????????????????????????????????????????????п????????????????????????????????????

?????????https://www.osapublishing.org/optica/abstract.cfm?uri=optica-7-6-632??