???????У?MLA??????????????????????????????????????????????е???????????????????????????????????????????????????????????????洢??????????????????磬???????????????????????????????????????壨CMOS???????????????CCD???????????????????е???????

???????????л???????????????м??????????????????Ч??????????????????????????????????????????豸???????????????????????и???????????????????б???????????Ч???????????2D?????????????????????????????????????????3D?????/??????????????????????????????????????????????á?

???????????繤?????????1???????3D???????е??????????????????????????????????????????????о???????????????????????????????У?????????????з???????????????е??????????????????????????????????е???????????????????????????????????????????У?????????????????????????????????????????????????д????????????????????????????????????ī???????????????????????á?

??????????????????????????????????????о????????????????е?????????????????????????????о???????????????????????????????????????е??????????????????????????????????????????——???????????UV???????????????????о????????????????????????????3D????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е???????????????????????????侫???

????????????????????????????о?????????????????????????????Ч????????????????????????????????????????????Ч????????Χ?80~120 μm???????????????? ?????????????????????????????????????????????????????饗PDMS??????????????????Σ??????????????????????????????????????????????????

???????PDMS???????????????е??????崦?????????Ч????????????????????????????γɡ??????????????????????γ???????????????????????O₂???????崦????PDMS?????????????в?????SiO₂???????????裩???????????????Ч???

?????????????????????????????壬????????????PDMS????????????г???????????????????????????????????????????????????????????????????????????Χ????????????????????????????????С???????????????????????????????????????Ч??????????????????λ = 633 nm????UV-vis?????????????????????????????

??????????????к?????????????????????Ч?????????????????????????????????????????????PDMS?????????????????t??????????????????????漸??????????????????????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е???????????

??????????о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ????????????μ??????????????????3D??????Shack-Hartmann?????????????????????????????????????????????????????

??????????????????

????PDMS??????????????????????

????????????????????е???????

?????????о???????????????????????????????????????????????н???O₂???????崦??????????????????15??磩????????????????????У????????????????????????????????塣?ù????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????е?????????????????????????????????μ?????????????????????????г?????????δ?е?????????????????????????????Э??????????????á?

?о??????????????????“?-??”?????????в?????λ?????????????е?????????????г?????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????

??????????????????????????????-2022?桷

??????????г???????-2022?桷??