- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
??????е???????棬??????????????
2023-02-05 20:22:39 ???????????? ?????0 ?????
???е?????????ù?????????????????????????????е?????????????????????е?????????????????????Χ??GHz??THz??????????ɡ??????????????????????????????е???????????????????????????й?????????????????????е???????????GHz??????????????????????е????????????????????????????е???е???淢??????????????á?????????????????е?????????????????????????е??????????о??????
?????????????????????????????????????????о??????Nature Communications????????“Gigahertz optoacoustic vibration in Sub-5 nm tip-supported nano-optomechanical metasurface”??????????????????????????????????????????????????????????????????????·????????о?????????????????????????????????????????????о???????
???????о??У??о?????????5?????sub-5 nm???????????????е???????棨tip-supported nano-optomechanical metasurface??TSNOMS????????????????5 GHz?????????????е???????????????????????????5?????????????????????????????????????????????????????е?????????????????????????????????????????е???Ч??????????????????????????????????????????????????????????е???????????С??????????????????е??????????????????????????????????е?????????????????????????????????
???о?????5????TSNOMS???????????????????ег???????????е????????????TSNOMS?????????????????????????÷????????Ч???С????????????????????????????????????????С???????????????????????????о?TSNOMS???????е????????????
?1 TSNOMS????????????????????
??311???????????£??????????????????????????е?????????????????????2a??????????????????????????ж???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????????е???????????????????????????????????????????2b???2f????????????????5????????????????????????????????????????????????????????
?2 ??????е?????????????????????????????????е???????
???е??????????????г??????????????????????????????е???к????????????????о?????????????????????????????????????3????????????о?????????????е????????????????????????????????λ????????????????????????4?????
?3 ???е??????????????????????????
?4 ???е?????????????????
????????????????????????????????е???????棨TSNOMS???е?????UV?????????£????о?????????????????5 GHz?????????????е???????????????5???????????????????????????????????????????????????????????????????е?????????????????????????????????????????е???Ч??????????????????????????????????ù??????????е?????Q??????????????????????TSNOMS????????????????????????????RIE?????????????????????????????????????г????????????????y???????80 k??270 K?????????仯?±????λ????????????????????????????????????????к??????????????????5?????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????е???????????????????
?????о???????????????????????12174324??92161118???????????з??????2021YFA1201502??2017YFA0204902????????
?????????https://www.nature.com/articles/s41467-023-36127-6
?????????
????????????????????
????????????????????????????????????1???????
???????????????????????????????????????????????????????
??????????
- ?????????????????????????????????????????
- ???о???з?С?????AR-VCSEL????????????????????
- о????????????????п????????????
- ????????????????????????????????
- ????緢??????????????????????905nm EELо?
- ?????????????????????????????
- ???????????????????????Prophesee????????????
- ???????????к??????????
- Metalenz????UMC???儷???????????????????????г?
- ??????????????1500nm VCSEL????о?????Ч??????????
???????????
- 104???и??????????????????????????????????...
- 75???SiPM????????????????????X??????????????????...
- 51????????????????г??VO2????????????
- 44???????????????????????????????????????????...
- 43???????????????????????????????????
- 39????????????????????????????????????
- 37???????????е???????????г?????????л???????
- 32?????????????????????