- ??52???????????????γ??????????????????
- ??MEMS??????????????????????????????-2023?桷
- ??51???????????????γ?????????????????
- ??50???????????????γ?????弤?????????????
- ??????MEMS????????????IMU??SCHA634?????????
- ??49???????????????γ????????????????
- ??MEMS???????????????-2022?桷
- ???????????????BMP581?????????
- ??48???????????????γ??MEMS??????
- ??47???????????????γ??MEMS?????????
?????????????????????????????
2023-06-26 15:53:01 ???????????? ?????0 ?????
???????棨Metasurfaces???????????????????????2D?????У??????????????????????ROE???????????????DOE????????????????????????????????γ?????????????
???磬??????????????????????????У???????佇???????????????????????????????????????????????????乤??????????????????????????????滹??????????δ?е????????????????????????????????OAM??????????????±??????????????NA????????μ?Ч????????????????3D??????д?????????????
??Щ???????????????????????????????????????????????????н????????????????????μ???????
??Щ?????????????????????????LED????OLED???????淢?傷??????VCSEL????????????????CCD?????????????MEMS?????????LC??????????????????????ROE????????????????????о????????????????
?????????????????Щ?????????????????/????????????????????????????????/????Ч??????г????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????ROE??????????й????????????????????????????Щ????????????????????????????????????????????????豸???????????о?????????????????湹???????y??????????????
???????????????????????????漯?????????????б??????????????????????????????????????????????????????·?????????£?????????????????о??????????Light: Science & Applications volume???????????????????£???????????????????????MEMS??LC??????????ROE????沨??????????????????????????????檔??????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????漯????????????·????????????/????????VR/AR???????????LiDAR????????????????????о?????????????????漯???????????????????????
???????漯??????????????????????
??????????????????????????????????????????????????????г???????????????????????????????????????沨?????????ROE??????????????????????????????????????????????????????????????
??????????????/??????????
???????漯??????????????Ч???a~c?????????Σ?d~f??
???????漯??????????????Ч???a??b?????????????c????????????d??e?????????????FoV????f??
????????????г???????
MEMS???????????????MEMS??????????????a??b???????????????c?????????????d??e??
?????????????????????
?????г???????????LiDAR????VR/AR??????????????????????????????????????????????й?????????????????????????????????????Щ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
???????漯????沨?????????a~c?????????d??e????????????f??
???????漯???????????????VR/AR
???????漯????????
????????????????????????????????????????????????????????????????CMOS????????????о??????????????豸?????????棬CMOS??????????????????????????????????????????????????????????????е??????CMOS??????????ROE??DOE???????????????????????????漯???????????????????
??????????????????Ч???й??????????????Ч????????????????90%??????????????£?????????????Ч???40%???????????ROE??>95%??Thorlabs????????????????????????????????Ч????????????????????Ч????????????治??????????Ч????????á?
??????????????????????????????????ROE??DOE??????????????????????δ???????磬?????????????????С?鶨????????Ч????壬??????????????????????????????????????????????????????????????????????????漯???????????????????????????????б???
?????????Щ???????????????????????????δ??????????????????????????????????????????????????豸????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????
???磬???????????????????????????????????????????????????????????????μ?Ч???????????????????????????????Щ???????????г??Ч?????????????????????????????ROE??DOE??
????????б?????????????????????????????о??????????????漯????????????????????????????????????????????????漯????????????????л?ù???á?
????????????????????????????????Ч????е?????????????????????1??????????????????????????????????????????y????????????????????????????????????????????
?????????https://www.nature.com/articles/s41377-023-01169-4
?????????
???????????????????? ??????? ??????? DOE
???????????????????????????????
??????Metalenz????UMC???儷???????????????????????г?
??????????
- ????CMOS??????SPAD?????????????????
- ?????????????Lumentum???????????????VCSEL????
- ???????????????????????????CMOS???????????
- ????????????????????????????????
- ?????????????????????????????
- ???????????????????3D????SPAD dToF???????
- ?????????320??????SPAD?????????????μ???????
- Oculi????д?????廯????????????????????????????????
- ??????????3D???м????????????????????????
- HyperLight??????????????????????????????
???????????
- 42????緢??????????????????????905nm EELо?
- 29????????????????????????????????????????
- 29????????+????????????????????????????????????...
- 23?????????????????????MOS???ε???????????
- 18X-FAB??4800???????????????????????????????...
- 16???????????????????????????????????????????
- 15????VCSEL????????????????????????裨O(shè)CT??
- 13?????????????????????????????InGaAs????????????