- ????????????MEMS?????????????????????????????????
- ??????????????????SPAD???????????-2023?桷
- ??57???????????????γ????????????????
- ??????MEMS????????????IMU??SMI240?????????
- ??56???????????????γ?????崫????
- ????????\?????г?-2023?桷
- ????????????????????г?-2024?桷
- ?????????崫???????????г?-2023?桷
- ????????????г?????????????????????
- ??55???????????????γ?????е????????????MUT??
???о???з?С?????AR-VCSEL????????????????????
2024-03-02 09:11:58 ???????????? ?????0 ?????
?????????????????淢?傷??????VCSEL?????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е????????Face ID?????????????????????ToF????????С?3D???е?????????£?VCSELо???????????????????δ?е???????????????????????????????VCSEL??????????????????????????????????/???????????????????????????????У???VCSEL???й?????????????LiDAR???????????????????????????????
????????????????????????к?????繦??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч????????????????????
???????ü??????????????弤?????????傷??????EEL????VCSEL??????????????EEL???VCSEL???????????????????????EEL?????????佇VCSEL????????????????????翪??????????VCSEL????????????-?????FP??EEL????VCSEL???и??????????< 2 nm?????????????仯???????????0.06~0.07 nm/?棩??????VCSEL?????????ζ??????????????EEL??????????????Ρ????VCSEL???е??????п?????????????2D?????????о????????????????EEL????????????????????踴????????????????????????????????VCSEL?????????????
????VCSEL??????????????VCSEL?????????????????????????????????????????????????????????????????????VCSEL?????????????????????????????VCSEL????????????Ч????????????????????????????????????????????и??????????????????????????????????μ?????????????????С?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????VCSEL?????D86???????????20°~30°????????????г?????> 100 m????輤??????????????????????????VCSEL???????VCSEL???ж???????????????????????????????????????????????????
6??AR-VCSEL
?????????????????????о?????????????????????“???о??”????????Nature Communications???????????????“Antireflective vertical-cavity surface-emitting laser for LiDAR”???о????????????????????о?????????????????VCSEL??ü??????????????VCSEL?????????????????????????μ???????????????????
?????о????????????????????????????????????????μ?????????淢?傷??????AR-VCSEL???????У????????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С???????????????Ч???????????????????????????????????????????????μ?????????????????????????????????????????????????????????
???????????VCSEL??AR-VCSEL???????????????
?????AR-VCSEL???
?????????????????????????????????????????????????????????衣???????????VCSEL????????о????????250 μm??6??AR-VCSEL???????????8.0°??D86????4.1°??FWHM?????С???????????40 kW mm⁻² sr⁻¹??????????75.6 kW nm⁻¹ mm⁻² sr⁻¹?????????????????????100 μm???????У??о??????????н?AR-VCSEL????????????100 kW mm⁻² sr⁻¹????????????????180 kW nm⁻¹ mm⁻² sr⁻¹?????????????????????????250 μm??14??AR-VCSEL?????????5000 W/mm²???????????????????????磬?о??????????7 μm??6??AR-VCSEL???????????????28.4 mW??????????????
?????????????AR-VCSEL????????????弤???????????????????????
????AR-VCSEL?????п?????????????????????ζ?????????????????????????????????EEL????AR-VCSEL??????????????????????AR-VCSEL?????????淢?傷??????PCSEL?????ж?????????????????????????????????????PCSEL?????????????????????AR-VCSEL?????????????????????????????????????????????16°??D86???????·????????????????輤?????AR-VCSEL????????????????о??????16°AR-VCSEL?????????AEC-Q102?????????????????????????????????????
????????????????ο??????https://doi.org/10.1038/s41467-024-44754-w
?????????
?????????LiDAR?????????г?-2022?桷
????????????VCSEL ??????? LiDAR
???????????-?л??????г?????????????????
???????????
??????????
- ????CMOS??????SPAD?????????????????
- ????????????????????????????????
- ?????????????????????????????
- ???????????????????????????CMOS???????????
- ???????????????????3D????SPAD dToF???????
- ??????????3D???м????????????????????????
- ????????????????????????п??????????????????Χ????
- ????????InGaAs??InP PIN?????????????-??????????????????
- Lumotive????????????????????????????????????????????
- ???????CMOS???????????????????????????????????