?????о?????????????????У???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????1a???????е????????????????????????й????????????????????????????????????β???????????

?????????????????????????????廩????????????????????????о?????????????????????棨metasurface?????е????????????????????????????????????single-shot???????????????????????????????κλ?е????????и?????????????????????????????????????????????????????????????????????????п????Stokes?????????????????????????????????????????????????????и???????????????о?????????????????????????????????????????3?????????????????????????????????????????“Metasurface array for single-shot spectroscopic ellipsometry”???????Light: Science & Applications??????

?1 ???????????????????????е????????????

??????????????е???????????????????????2?????????????????CMOS?????????????????????????й??ɡ????????????е?Mueller????M₀???????У?????????????????????????I_out??????????????п??????????????????l₂????????????convex optimizer???????????????????????????????????????????????????????п????????????????????????????????????d????????n??

??????????У??????????????????????????????????и???????????????????????????????????У????Mueller??????е?????????С???????????о??У?20 × 20???????????е??????????????????????300 nm?????????????ɡ????????????????????С????????????M₀?????????????

?2 ??????????????е??????????????????????

??????????????????????????е??????????????о???????????????????3a???????????????????20 × 20???????????????1.5  mm × 1.5 mm????????????????????????????????EBL??????????????RIE?????????????????????????о???????5 μm?????????????????????????м????CMOS?????????Sony IMX-183????????????????е????????????浥???4?????????????????????SEM??????????3b??3c??????????????о????????????????????????????????澫???????????????????????3d??3e?????

?3 ?????????????????

??????????????????????????????о????????????????????5??????Χ??100 nm??1000 nm????SiO₂???????????????±?????????????45°?????????????60°????????????????????????????????????????????????Ч????????????????????????????????????????????????100 nm??1000 nm???????????SiO2???????????п?????????????4a??4b????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???п????????????????????????????????100 nm??1000 nm??SiO₂???????????????????4c??4d?????????????????????????????????????????????????????????ù?????????JA Woollam??V-VASE????????????????4e???????????ù???????????????????????????????????SiO₂??????????????????????????????????????2.16%???????10??????10?β???????????1.28 nm??

?4 SiO₂?????????????????

???????????????о??????????????????????????????????????е????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е???????????λ????????????????????????????б??????????????????????????????????????С???????????????????????????Χ?????????????CMOS?????????700 nm??????????????Ч?????500 nm???????1?????????????????????÷?Χ????????????????Χ????и???????Ч???CMOS??????????????????????????Χ????и???????????????????SiN?????????????????檔????????????????UV????????IR??????????THz????Χ??и???????????????????л???????????????????????????????????????????????????

?????????https://doi.org/10.1038/s41377-024-01396-3

?????????

??????????????????????????????-2024?桷

????????????????????г?-2024?桷

??????????г???????-2022?桷

??С???????о???????????????г?-2020?桷??