?????????沨??SAW???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????/?????????С?????????????SAW??????????????????á???????????????????SAW?????????????????????????????????????????????μ???ó???????Щ????SAW????????????????????????á????????????е?????????????????????????????????????????????????????????У??????????????????????SAW?????????????????????????????????????/??????????????????????????

??????????????????SAW???????????????????????????Щ????SAW????????????????????????????????????￡?????????е????￡?????????????????????????????????????????????????仯????????Ч???????????????IDT??????????????Щ???仯??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????UV?????????????????????????????????Щ????SAW????????????????????????????￡????òο?????????????????κ?????????????????????????????????????????

??????????????￡????????????????SAW???????????????????

??????????????????????????????????????????????????????????о??????????????о??в???????????????????????????????????AlN??/??????????????SAW?????????????Ч???????????????????????????????????????仯?????????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????SAW??????????????????????????????????????????譚?????????á?????????????μ????????????Щ????SAW?????????????????????仯?????????????????????????????????????????о????????

?????????????????????????о?????????о??????????????????????????????????????????????????AlScN???????????SAW????????????о??????????????????SAW?????????????????????о?????????????????????????????SAW????????????

AlScN/??????????SAW?????????????κ??????????????

?о??????????????????????????????????????SAW??????????????????????????μ??????в????????籾?о??е?????????????????????????????????????????????????????SAW????????

???????????????SAW???????????????

?о?????????????????????????????????????????????????????????饗MLR???????????饗PR???????饗Ridge?????????饗Robust?????????????饗ENR????????????DTR???????????RFR????????????????XGBoost?????????о??????????SHapley Additive exPlanations??SHAP???????????о?????????????????????????????????????????????????

??????????????????????

????о?????????????????????????????????????????????С??????????????????????????????????????????????????????????????о???????????о????????????????????????????????SAW????????????????????????????????磬????????????У??????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????????????????????????

???????μ?????????????

????SAW??????????????

?????????????о????????????????????????????c??????????AlScN?????????????????SAW?????????о???????SAW???????????????????????????????????????????????ζ?????????й????????????????????о????????????????????????????????????2???????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????????????SAW????????????????????????????????μ??????????????????????0~1160 με?????????￡?????XGBoost????????????????????????????????????????0.996?????????????????0.019?????????????????????????????о????????????????????????????λ?????????????SAW????????????????????????????14.5 cm??11.5 cm??5.8 cm?????????檔????????????????￡?????SAW????????????????????????????????????????????????????????????????????3.1%??

?????????????о??????SAW???????????????μ??????????????Ч??????????????????????θ????????о??????“Achieving consistency of flexible surface acoustic wave sensors with artificial intelligence”???????Microsystems & Nanoengineering??????

?????????https://doi.org/10.1038/s41378-024-00727-z

?????????

??????????????????????г?-2024?桷

?????е???????????????????-2023?桷

??????????е????????????CMUT?????????????????-2022?桷

?????????е????????????PMUT?????????????????-2022?桷??