?????B. Scannell

ADI???????MEMS????????????

????MEMS???????????????????????????????????????????????????????У?????????????????????

??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????й???????????????????Щ?????????????磬??????????????????????GPS???????????????????

??????о????????????????????????????????????——???????????????????????????????????Щ??????????????????????????????????????????????????????????????????ɡ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????Щ????????????а?????

MEMS???????

?????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸??????????????????????????????????????????

??I?????????????????????

???????????????MEMS???????????????????????????????y??γ???辧???????????赯???????????????????????????????????????????￡?MEMS??????????????????????ò????????????????????????????ɡ???????????????????????′???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е?MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е????????????????????????????????б??????????λ?á??????????????????????????????????????????????????????????/????????????????????

????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????????κ??漰??????????????м?????????????Щ????????????????????м???????I??????????г????Щ?????????á??????????????????????y???????????

?????????????

????????????????????????????????????????м???????????????漰??????????????????????????????????????????????μ????????????????????????????????????????????±???????

???????￡???????????????????????????????????????????????????????????????????????磬?????????????????У????????????????????????????MEMS???????????+/-1g????????????(+/-90°)??????????????????????????????????????????????????????????????????????????￡??????????????????????????????????????????????????????????????????б???????????????????????????????????????б?????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????????????????????????????????????????????????????У???????????????????????????У?????????????ж????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч????????????Ч?????У??????????????????????????????????????????????????￡?????????????????????????????ü????????????????????????????????????????????????????У????????У????

?????????????????????????磬6?????????????????????x??y??z??????????????????????????????????????????????μ??1??

?1???????????????6??????????????x??y??z??????????????????????????????????

????——???????????????

????????????????????????????????????????????????????????GPS???????????豸?????á???GPS????????????????????????????ν??λ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????GPS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????п???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????II?г??????????????????????????????

??II????????????????????????????????????

???????????豸????GPS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????к?λ????????????????????????????

??????

?????II?????????????????????????????ù???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С??1º??95%?????????????(TKA)?????????е??????????????????????????3º???????ù?????????????????????????????Щ??е???????????????豸??????????????????????????е????????????????Щ?????д??30%??????δ???????????????3º???????????????о??????????????????ж????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??????á?

?2??????MEMS?????????????6?????????????? ????????????????????? 

?????????????????(IMU)????????????????????????????TKA??????????ADIS16334???2?????????????????????????——????????????????????????????????????????е????????????????????????????????????????????????????У???????????????????????????????????????????????????????????4???????????(SPI)????????????????????????????????????

MEMS???????????????????????20?????????????????????????????????????е???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????豸????MEMS??????????????????????????????III?г????????????????????????????

??III???????/?????????????????????

??????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??????к????????????????????????????????????????????????/???/??/????仯???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???MEMS???????

???MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????漰????????????????????????????????Щ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????????С??硢?????????????????????????Щ????????????????????????????????????????????????????????????????????в???????????????Щ????MEMS????????????硢?????????????????????????