- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
?й????????????????????????????
2012-11-03 20:28:14 ???????? ?????0 ?????
??????????????????????????????????????????????????д?????????????????м?????????????????????????????????????ν??????????????á??й??????????????????Σ?
?????????????????????????????????????????????????????а?????????????????Э?????????????????????????????????????????У?????????????????????????а?
????????????????????????????????????????????????????“??????????????????????????????????????????”????????????????????????????н?????????????????????????????????????????3??????????????????á?
??????????????????????????????????????????????????????????????????????2011??????????г??????575??????????2017????767??????????й??????????????ж??????嵵?ε???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ü???
??????й?????1600?????????λ???′?????????????????????????????24??????г????????900????????????6000??????е????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????100???????????????????????????????????????????????????Σ???????е???г??????????????
????????????????????????????й????????????????????????????????£?????????????????????????????ü????????????????10???й????м??????????????????100??????????10???????
“???????????????????????????????????С????????????????????????????????????????????????????????????”?й????????о????????????γ′?????????д????????????????????????????
????????飬??“?????”??????????????????????????????????????????????????????????????????????????в??????????????????????????????????????????????????????
??????????????????
??????MEMS???????г??????????й????????????
?????????IC??MEMS???3?????????
??????????
- ???????????ī?????????????????????????????е???????
- ?????????PMUT?о????
- ????????????????SAW???????????????????о????
- ??????????????????????????
- ??????????AIN???????????????y??
- ????????????????????????????е?????о????
- ?????ī??????????????????????????????
- ??????????????????????????????????????????
- ??????????????????????????????????
- ????????????????????????????????????
???????????
- 1.2K???????????????????????RoQS???????????????????...
- 1.2K??????????????????????????δ????
- 1.1K?к??????????????????????????????????????
- 739?????????????????????????????????????豸???????...
- 578?????????????????????????ú?δ?????
- 337??????????????м?????????????????????
- 150????????????????????????????????????????
- 117????????????????MEMS?????????£???????????????...