12??30????????????MEMS?о????????(???)?????????????????????????????(???)???????????????(???)?????·???????????????????????????У??????????????????????????????????????????????

?????????MEMS?о??????????????????廩?????е?????????????裬??λ?????????????MEMS???????????MEMS?????????????????????????????MEMS?о?????????λ??????????????????????????????????????1????????(???)?????????????????????2000??????ù????“????????????????”??????????????????????????????????????????????廩?????????????????帺??MEMS??????????MEMS??????????????????????????????????????????????1.2????????2013??????????,????????????????????????10?????

??????????????????????(???)???????????????(???)?????·???????????????????????????????????壬??????????????????????·?????????????????????淢?????????????????塣