- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
????????????????????
2013-06-21 20:28:48 ???????? ?????0 ?????
????CMOS?????з?????????????????????С???????????????????????????????????о????????????????????о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????IC?????????????IC???????????????2D???????3D???????????????????3D??????????????????????????????????????????????????????TSV??????????????о???????????????????3D TSV???????о???о?????????????????????????????о???以?????????????????????Yole Développement ???????3D TSV???????????????????????????????????г????????10???????2017????380????????г?????????1????????????????????????2012?????????????????????????????43%??13%??6%???????3D TSV?????г??????λ??
?1 2010-2017?????3D TSV?????г????
3D???????????????????Ч????????????????????????????????о?????????????????????????????о???????????????????????????????о???о??????????????????????????????????????????????Χ????????????????????IC??????????????????????????????Ч????3D TSV????????????????????????????????????????3D IC??????????????????????EDA?????????????????????????????????????????????????????????????????????????3D?????????????洢????MEMS??????????????????????????????????С????????????????????IC????3D????????????????2 ~ 3??
3D ???????????????ò???????????CMOS??MEMS??SiGe??GaAs?????????????????“??????”????????y????????????????????????????????????????Ч???????????3D?????????????????????????????涼???н???????????μ?3D????о?????????FC?????????????????·?????????????????????????????3D????????????????????????????е?TSV??о???????????????????????????δ????3D??????????????????????????о??????????????????????Ч????????
3D IC?????????????幩?????????????????IDM??????????????????????????????????????????·????????????????????????????С???????????????????????????????????????????????????????????????????????????3D IC???????????????????????????δ?????????“Full IDM”?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????“????IDM”????????????????Yole Développement???????3D TSV??????????????????г???2017????95??????????У?????TSV?????????????顢?????????????????????жξ???????????г????????38??????????????????????????57???????
??????????3D ICо????????С????????????????????????????????Я???????????С?????????????3D?????????????????δ???????????????????????????????????
????????????????MEMS????????????λ????
??????MEMS?豸??????г??????? ?????????????
??????????
- ???????????ī?????????????????????????????е???????
- ?????????PMUT?о????
- ????????????????SAW???????????????????о????
- ??????????????????????????
- ??????????AIN???????????????y??
- ????????????????????????????е?????о????
- ?????ī??????????????????????????????
- ??????????????????????????????????????????
- ??????????????????????????????????
- ????????????????????????????????????
???????????
- 1.2K???????????????????????RoQS???????????????????...
- 1.2K??????????????????????????δ????
- 1.1K?к??????????????????????????????????????
- 739?????????????????????????????????????豸???????...
- 578?????????????????????????ú?δ?????
- 337??????????????м?????????????????????
- 150????????????????????????????????????????
- 117????????????????MEMS?????????£???????????????...