?????????MEMS????繒???·??????????????????????????????????????????????????????????????????“?????”????滮??????????????????“?????”????滮???????????·???“?????”????滮??????“?????”???????????????????滮???У?????????????????MEMS??????????????????????????????????????·???????????????????????????????????????????

?й?MEMS????????????г????????????????????????MEMS??????????????????С???????????????迪?????MEMS???????????ò?????????????

????MEMS?????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????ɡ??о?MEMS??????????????2???????????????????????????????1??????????????????????????????????90????????MEMS???????????????????????MEMS?з???????????????????????????????????й????????????γ??Ρ??й????MEMS??????????????????????????????????е??·????????в??????????????????1962??Kulite???????????????????????????ù?????????????躑??????MEMS?????????MEMS??????Bulk micromachining??????????????1974????????????幫????????????????????????????????????????????12?????????

????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????й????????о??????????п?????????????????????е????????????о???????л???????MEMS???????????????????????MEMS????????μ?????Σ????????????????????????????????????????????д????????????????У?????????????÷?????????????????????????????????????????????????з???????????????????????????MEMS???????·??????衣????MEMS??????????е?????????????????????????μ????Σ????????????

????MEMS?????????????????????????????????????????????豸?????????????????????????з?????MEMS??????????п??????????????????MEMS?????????????????????С???????????????????????????????????????????????????????????????????????????г???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????????????????

????MEMS?????????????????????????“????衢?????”??MEMS????????????????????????????з???????????漰????????????????????棬???????????????????????????Ч??????????????á???????????????????????????????У????????????????????????????棬????????г??????????淶?????С???Σ????????????????г??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸??????о????????????????????????о???????У???????????????????????к??????????