?й???????????? ???/??

?о?????????????????????????????????в?????????г?????????μ???????????????????????MEMS??????

Lab4MEMS???????????????????????ī??????????????????????

?????????????????鹲????3700???????????Lab4MEMS????з???????????????з???????????????С????????????????????PZT?????????ī????????????????????????????????????з???????????????????о?3?????????о????????????饗??????????????????????????????

???Lab4MEMS??????????2?????????2013??1??-2015??????????????Щ?1??????ó??????????????????????????????Agrate Brianza????8?羧????????????????????????????????????λ?????豸??????????Datacon, KLATencor, Okmetic, PICOSUN??SolMateS????MEMS???????????????STMicroelectronics, Cavendish Kinetics??Sonitor?????????????????о?????

???и??????PZT???????????????/????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸?????????????????8?????????PZT?????????????ù??????????е?8???MEMS???????????????????????????????????“????????????????‘????’??????????????????”??????????MEMS????????Anton Hofmeister?????“???????????PZT????????????????飬????????????????????????PZT??????????????????????????????????????????????????С???????” ??????Lab4MEMS?????Э???Roberto Zafalon????“????????????????Щ?2?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????”

“??????????????????????????????彫??????缶??PZT????????????ù?????????????????????????????????????????????????????????????á?”Anton Hofmeister???“?????????????????缼??????????????MEMS??????????????”

???????????о?3????????з??????????????GPS???????е????????????????????????????????????????????ī???????????????о????????????Щ????????????????Z??????????????γ?????DRAM???????????????????????VTT????????о?V?ν????????Anton Hofmeister???“??????????????????湤????????????2???????????????????????????з?????????????????????????????????е?MEMS????????????????”

???????з??????3????????3?????????3???????????ASIC???????????????????о????????????????????????????????????о????????????????????????????75-200μm???????????????????????????????TSV???????????????MEMS??????????????????????“???????????????????????????” Roberto Zafalon???“????????豸??????‘о???о?’??‘о??????’??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????????????????????????????

????????MEMS??????ˉ??г???????????崫????

?????MEMS????????????г????????????????????????δ???????????“???”??????????崫??????A.M.Fitzgerald & Associates???MEMS?????Keith Jackson?????“MEMSг???????????崫??????????????????????????????????д???????????????г??????仯??????μ??????????????CMOS?????????????????????С?”???г?????仯????????????????????????????????????????????????????????????????磬?о???????????????????????ж???AlN??????????????????г???????????г????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г????????????????????

г??????????????????????Щ?????????????????????????????????й??????????????????????????????У???о??????????г???RF????????????????????????RF??????????????????????????????????????????????г?????????????????Χ?????????????????????????????о????????????1mm x 1mm?????5V??55Khz?????????????????144°??

?1 MEMSг????

???崫??????????????????о?????????????????????????Transducers???????30????????????????????????С??????硢??????ù????????????豸???????崫??????????????????з?????????????????????????????????????????????????CMOS?????????????????????????????о???????????????????????????????????У????????????????????????NXP????????????????????????????????????????У??????????μ??????????????????????????????????????渲???????????????2?????????????????仯??????????????????????15?????????????????????????????????????е?????????????????????????????仯??????????????????

??????????????仯

??????Щ?2?????????????MEMS???????￡?MEMS????????Щ?????仯?????????г????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????У?????????????????????????InvenSense?????????XFab??????????????A.M. Fitzgerald??Silex???????????????????????MEMS????з??????????п????侺??????“??????????????????” Keith Jackson???“???????????MEMS??????????????????Щ???????????????????????С???????е?????????????????????????????????”

???MEMS???????????е???????????????????????????????????????????з??????????????????Ψ??????????????MEMS???????????????????IC?????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????У????????????????????????????

??????MEMS???????????????????????豸????????????????“??????????????????????????????????????????????á?” EVGroup???????????Eric Pabo???“?豸???????????ù???????????????????????????????????????????????????ɡ?”

??????????????????

“???????????????Щ???????????????????‘???????’??????????????????г???????????????????????δ????????????????2????????С?”Eric Pabo?????“????????1??????????????????????????????????γ??????????????????????????????????????????MEMS??CMOS???????”???????????????????????????????????????徧????????????????????????????Ч???????????????δ????????????????MEMS??CMOS?????????豸???????????Щ?????“????EVGroup?????????MEMS???????????豸??” Eric Pabo???“??????2014?????????????????2015???????????????ЩMEMS?????????EVGroup?????豸/???????????????????е?????????????????????????????????????????????????”

“???????????????????????MEMS??????????????????????????” Eric Pabo?????“???????в??t?????????????????????????????????MEMS???????С?????MEMS??????????????????????????????”

?????????????MEMS?????????????????????????????????о???????????????????EVGroup???MEMS?????????????????-????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о??????????С???????????о??????????????????????????????￡??????????????????????о????????????60%?????????????????????MEMS????????

?2 MEMS???????????

?μ?PZT?????????????Щ?μ????????????????????????????????????????裨AMR????????裨GMR??????????裨TMR?????????????????????????????С??????????????????????????????????????????????????????????????????????AMR?????????NiFe????ī?????GMR?????????CoFe????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г????????????????????????????????????????PVD?豸????????????????????μ?????????????“????????????????????????????????Veeco???????????????” Veeco?????????????г?????????Jio Lee?????“??Щ???????????????????????????ī?????е?PZT???????Pt?繅?????SAW??FBAR??????е?AlN???????????????????????е?BST????Pt?繅?????????????????????????????Щ????????????????????????????????????????RIE???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????100-150nm/min??”