??????????????????????????з???????????MEMS????????????С?????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????δ?????????GMEMS?????С??MEMS?????????????????Ψ???????????MEMS?????????????????????ù?????????й?Scott Lee??????????????????????β???У?????????????????MEMS???????????????????????????????????????

???????????????????ж??????????????????MEMS????????

?????GMEMS??????2011??6?￡??????????2008???????????????????????2006?????????????????RFID USN Center??RUC?????側(cè)??????????????????????5???????RUC????????????????檔2007???????????????????????????豸??2008???????????????????????????????2011?????RUC??????????棬????????????????RUC??????л???????GMEMS??

???????GMEMS?????????MEMS???????????Щ??????????????????

?????????MEMS?????????С??????????Щ??????????????????

??????????????????Σ?GMEMS?????????????????????????????????????

?????????????29???????GMEMS???????????80????????????л????GMEMS??????????????????豸???????????????MEMS????????????????????????????????2013??7????????????????????????????????????????????????????????????к???????????49%?????????????ISC????41.4%????????????????????????????

????????????????????????????????????????

??????????2014????????????2-3????????????????????????????????????????2014-2015??????????10?????

?????????????????????????5????GMEMS?????

?????GMEMS?????MEMS??????з????????????????????3-5????????GMEMS???????????????????MEMS?????????????????λ??

?????????????????????

????????????MEMS?????????????к?????豸???????????????????з??????????????????????????????????С???????????????????и???MEMS?????????????顣

???????IC??????????????磨TSMC????GlobalFoundries????????????????MEMS??????????????????????GMEMS???????

??????????????е?IC???????????????MEMS???????????????????????????????????????????GMEMS???????????????????????????IC????????MEMS?????GMEMS????????

????????????????Щ?μ?MEMS?????????

?????????????????????з???????SOI???????????????????????????WLP?????????TSV????GMEMS????????????????????????з??????/??????????/????????

????????GMEMS????Щ??????????????MEMS??

??????????к??MEMS????????顣?????????GMEMS?????????MEMS?????????????????????????·?????????????????????????????????硣????????????????????SOI?????????????

??????????????????????

???????????????????400????1????????????????????????????

?????????′???????????????????Щ???????8?????????????????????????

??????????????????????????????磬????????豸??2??????10000??????????????????2??????????????????IR lens???????????????????4000??????GMEMS??????豸??8????????????????豸?????6????????????????????????????????????SiO2?????HF????

???GMEMSδ??????????????????????????????????δ????????????

????????????е?????????????????????????????????MEMS??????????С?????????????????????????????????????з???С??????????????????????????????????????MEMS?????????з???С?????????

??????????????????????MEMS????????????????У???????

??????????????Ψ????8???MEMS??????????????????????????????????????????????????????κ???????????????????????????????????????????????????????????????′???

?????GMEMS??????ж???????????????????????????????????Щ?????

????????????е?????95%??????????????5%????????????????????????????????85%???????10%???1??5%??????????????????????????????