2014??9??24-25???“??????????????????????????÷??”???????????????????????2000????λ???????????????????й????????о??????????й???????????о??????????????10?????????????????????????????????????????????????????????в?????????????й?????о????????粩?????????塢??????????衢?????????????????????У???????????

?1 ???????????????????????÷??????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????и???????????????????????????????????????г??????????????“???????￡?????????”????MEMS?????????????????????????????????????????????й???????????????????

???θ??????????????й????????????????????????????????????????????????????“??????”?????????????????????????????????????й?MEMS??????????????????????й???????????????????????????????????滮??????δ????????·?????????????????????

?????и??г???????????????????????????????????????????????????????????????????530?????????????????????40????????????????У??????????ε????°??????????????????????д???????????????????????????????????????

?2 ?????????????????г???????′?

?3 ?й????????о????????????????′?

???θ?????????????????????????????????????漰????????????????????????1???????????????????2??MEMS????????????????????????3????????????????4??“??????”?????????????????????5???????????????????????6?????????洢?????????7????????????????????????8?????????????????????????9????????????10??2014????????′????????

??????????????????????????????“??????”??????????????????????????????????λ???“?????”??????й????????о??????????????γ′??????????????????????????????????????????????????г???

???λ???????1??????н?????????????????????2?????????????????????????????????????3???????????????????????????4????????????????????????????????????5??????鷢??????2014?й????????????????????頃????6????????????й???????????????????????7???????????????????????????綥?????????8???????糱???λ??????????????????????

?4 ??2014?й????????????????????頃??????

?5 ?й??????????????????????

?????й????????о????????

?й????????о?????????????й?????????????????????????????????й??????????????????????????????????????????????й????????????????????????檔?????????????????????????????????????????????????й????????о????????????????????????????????????????????????????????????????????????????緋????????????????????????廯??????????????й?????????????????

?????й???????????о???

?й???????????о??????????????й???????????????????????????????????????й???????????о????????????????????????о????????????о???????????2?????????????о????????????11????????ü????о????о????3?????????????????о???????????????????о??????????????????й???????????о????????й?????EDA???????е?λ???й????????о??????????й????????????о???????????е?λ??