“?????????????????????д???????????????????????????????????????????????????г?????????????????????????????????г???????????????????????????????????????????????????????????б???????‘?’???”????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????

??????????漰?????ü????????е???????????????????????????????????????????γ??????????????????????????????????в?????5????????е??????????????????????????????????????40????????????????????????

??????????????????????????????????????????豸?????????????ü??е?4??????“???????????????г?????????????????????????????????1380???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????δ?????????,???????????????????????????????”??????????????????й??????????

????????????????????????????????????????е??????????????????磬???????????????????????????????????й???м???????????????????????????????2??????????????п??С??????????1???????????????????????????????????????????????????????д?????????????????????????????????????????μ??????????????????????????????????????????????????????????????60%????????о?????????80%????????????MEMS???????????????????????з??????????????10%??????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????μ??????????????????????????????????????????г????????????ν??Э?????????????????????????????????????????????????????????????????????淶?г??????

?????????????????????У????????????????????????????γ??????????????????????????г????????裬?????????μ????????????????????????????????????????????????????У???????????????????????????е?????????????????????緋?????????緋???????????????????????