“????δ??”??“?????”

2015?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????к??????????????????????????????壬???PM2.5???????????????????????????????????????????????????岻??????????????????????????????????????????????????????????λ?????????????????л???????VOC??????????????????????????????????????????????????????????Ρ?????????

2014??8?￡?????????????????????????????????????????????????????????????????塢????????????????й????????????????????????????±?????塢ú???????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????京??????????崫????????????“????δ??”???????????????崫??????????????豸???????????????????????γ??????????????????г??????????????????????????????????????????????????????????崫???????????μ???ú??г??????????????????????????????

????????????????Щ????????????????????????????????????????豸??????????檔???????Τ????Honeywell???з???????????????????????豸???????????ж?????????????κ?????????ζ?????????????????????????“???”????????幤????????????????С?????????????????????????????????????????????????????????????????????????·????????Σ?????????Σ???

Honeywell?????MEMS??????????????????????????????

??幤????з???MEMS“????в?о?”??????????豸

???????????崫????????

???崫??????÷?Χ???????????????в??????????????????????????????????????????????????????????????????????????崫??????????????????????崫???????緋??????崫??????PID???崫??????????????崫??????????????????????

?????????崫????

???1962????????????????????崫???????????????????????崫????????????????????顢???????ü??????????崫???????????????????????????????????????????

????????????崫?????????????????????????????崫????????????????????????磺SnO2??ZnO??Fe2O3??TiO2??????????????????跡??????????????????崫????????????????????ò???????滯???????????????仯?????°??????費(fèi)???????????????塣????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У?????????????????????壬?????????????????????????????????????a?????b??????????????????????????????????л???????????????O2-?????????O-???????c???????O-??????????????????????????????????????????????C2H5OH??????????????????????????仯??

????????????崫???????г????????????????????????????????????????????е???·?????????????????????????????????ζ?????????????????????????????????????????????

?????????????????

?????????????崫???????????Щ????Ч???????????????????壬??????????-??????????Ч????MOSFET???????????仯????????????????????????????塣???У?MOSFET???崫??????????????????л???????VOC?????????????????????????????????MOSFET???????????????????????????????????????仯?????VOC????????????????????????????????????????????乤??????MOSFET???崫?????????????????????????????????

?緋??????崫????

?緋??????崫???????????????????λ?????????????????繅??????????????????崫????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CO??NO??NO2??O2??SO2?????????????????е????????????????????崫?????????????????????????????????????????????????????????繅????崫????????y??磬?????????????????????????????????????緋?????崫?????????????????????????????????á?

?緋??????崫??????????

???????崫????

???????崫????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????岻????????????????????????????????塣???????????и???????????????????????????????????????????????壬???????У??????????е?????

?????????????????????

??????????????????????????????л?????????????????????????к??й?????л?????????????????????VOC????????????????????????????仯????????????????λ????ù??????????????????????????????????????????????????VOC??

PID???崫????

PID??Photo Ionization Detector???????????????????t??????????????????????????????????л?????????????????????????к???????????к??е??л????????????????????????????????????????????糡?????￡??????????????????????γ??????????????????????Щ??????????????????????????????????????ppm??????????Щ????????繅????????????????????????л?????????????з?????????κ?????PID????“???”????t??????????????壬?????????????PID???????????????????????????

PID???崫???????????

PID?????????????????????????л???????VOC?????????ж????塣???????VOC?????????????????1????о??????????????á?

??????????崫????

?????????????????????????????????Pt????????????????￡??????????????????????????????????????????????￡????????????????仯???????ò???????????????·???????е??????????????????????????????????????????????????????????????????????????岻??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????á?

?????????????????1-???????2-???壻3-Pt?????????????????????????·

??????????????????岻??У?????????????????????壬?????????????????????????????????????????????????????????????????????????·???????????????????????????????????????м??

????δ????????г???????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????崫????????????????????????????????????????MEMS??????????????崫??????????????????????????????????????????????????????????豸??????г??????????????????μ????崫?????г????????????????崫???????????????????г?????????????????????

????Yole?г????У??????崫?????г?????????????HVAC??????????????δ?????????????????????????2014?????崫?????г?????5.6??????????2021????9.2???????δ???????????????????7.3%??

2014-2021?????崫?????г???????

???崫?????????????????????????????й??????崫??????????????????м????????City???????Figaro?????Alphasense???й???????????????棬????????崫??????????????????????????????????718????????ú??????????????????????????9??????????з?????????????壨VOC???????崫?????????У??????????????Ψ??????????????????????緋????????????????????崫??????????????????????г???????1500???????????崫?????????????????????????ж???????????????????????????????崫??????????????

11??8?????????1????????????????????“??????”???????????????????????????????????????????????崫?????л??????????е??ɡ??????????????飬?????????????www.MEMSeminar.com????