IMU??Inertial Measurement Unit???????????????????IMU?????????????????????????÷?Χ?????????????·???????????????μ??????????????????λ???????????????/???????????????????????????á?

MEMS-IMU????·“??????”

?????????????????????MEMS?????????????????????????????MEMS??????????????е???????????????????????????????????·?????幤????????20????80????????????е?????????????????????????е???????????MEMS?????????????????????????????????????MEMS-IMU??????????????????????????о????????????

??1???????MEMS-IMU

??????InvenSense?????μ? ICM-20602 6????????????3??????? + 3????????????????? Daydream ?? Tango ???????????????????? Daydream ????????Tango?????????????????? VR/AR ????????????????MEMS-IMU????????????????????????????MEMS-IMU?????????????????????????÷?Χ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????в???????????????MEMS-IMU??????????????????С??????Χ???

????ICM-20602 6??????????

?????MEMS-IMU??????????С??????????????????????Χ1~50g???????2mg~10mg?????????????????±300°/s???????500°/h~1000°/h??Χ???

??2???о???MEMS-IMU

???????MEMS-IMU???о???MEMS-IMU?????????????????????????

????????????У??о???MEMS-IMU??????????GPS ???????????????????????????????????????????????????????????Ч??????IMU??????????????λ????????????????ж???????GPS??????????????????У?IMU???????????????????????????????????????????????????????????????磬??Щ????????????????????ESP?У?IMU???????е???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

??????????У??о???MEMS-IMU????????????????????????????????豸??????????????????????е?????????Atlas??????????????????????????????????????????????????????????????????????鸚?????????IMU????????????????????????????????????????????????????????о????????????????д??????????????????·?????????????????????????????????????У???????????????????????????????????

Atlas????????????

?о???MEMS-IMU???????????????????1~500g???????1mg~3mg??????????????250°/s??????????50°/h~200°/h??Χ???

??3???????MEMS-IMU

?????IMU?????????????????й??????????????????紐??????????????IMU??ADIS16485/8??????????????????????????MEMS-IMU?????????ü??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????á????????????п?????????????????????????á?????г?????????????GPS???????????á??????????????????????????????????????????????MEMS-IMU?????????????????Χ????Щ???????????????????????????????е??????С??

ADIS16488??????????

?????MEMS-IMU?????????????Χ????1g~5000g????????0.1mg~1mg??Χ?????????????????????????Χ??20°/s~1000°/s????????????????50Hz~1000Hz?????????????1°/h~50°/h??Χ???

???MEMS-IMU???????????????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????г?????????????侫??????????????????????????????MEMS?????????????????????MEMS?????????????????????????????????·???????????????????滹?????????????????????????MEMS????????????о?????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????о?????

IMU???

IMU?????????????????????ü???????????????????????????????????????????????????á???????????IMU ????????????????????????????????? 6 ???????????????????????????е?????????????????????????“6??IMU”?????????IMU??????????????????????????????????γ????????????????“9??IMU”??

???м??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е??????????????????????????????IMU??????е???????????????????????????????????????????????????????????????????????????IMU?????????????????????

???IMU???????

???IMU????????????

MEMS-IMU???????

??IMU????????????????????????

??1???????????????

??IMU?У?????????????????????????????????????????????檔???м???????????????????????????????????????????????????????IMU??????????????????????

???м????????????6λ?t??????????IMU????????????????????????λ?÷????????????????????????

??????????λ??

??2???????????????

???????IMU???????????????侫???????侫????????????????????????????仰??????IMU?????????????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????IMU??????????У????????????????￡????????50°/s??100°/s??150°/s??200°/s??250°/s??????????????????????????????

???????????

?????????MEMS????????????????У????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ???????????????????????????б????????????????????????????????????

??3????????????

MEMS?????????????????仯????侫????????????????????￡????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????÷????????????????????飬???????????????????

??????????????????

??4??IMU?????????????????

A????????

?????????????IMU????????У??????????????????????????????????С?????????????????????????????????е????ò???????????е????ò????????

???????????????????????a. ????С????????????????С????????????Σ??????з?????b. С????????????????????????????????μ?????????????????????????????????c. С???????????С??????????????????????????????????С????????????????????????????????????????????????????????????????????

B??????/????

??????????????MEMS????????????д??????IMU????м????????????о???????????ù???????????????????????????????????????????????????????????????????????????IMU???????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????仯??????????????????????????????????岻???????????????????y??????????????????????????????????????????????????

?????????

??????????????IMU???г?-2015?桷

????????????????г?-2016?桷

??mCube?????о??????WLCSP??MEMS???????MC3672??

??InvenSense?????????+???????????????ICM-30630??

?????????????????????????????????????????????????