​??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ???????????Сlow?????????鲼???????????????????????????н?????????????????????ò???????????????????????????壬?????????????????????????????????????

???????????????????????????????????ж????С??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е????????飬??????????????????????????????????????????????????仹??????

??о????

????μ?????????????????￡????????о????????????????????????????????????????????????о?????????????????????SMD???????????????飬????????о???饗Multi-Chip Module??MCM????

MCM????????о??????????????????????????????????????о??????????????????????????????????????????顣???????MCM????????о??????????????С???????о??????????PCB?????????????????????MCM?????????к??ж??о????????????????????????о????????С????????????????????????????????????????????????

??о?????

??о???????mCube?????????????MCM?????????????????????????о?????????

?1 ??о???????

???1??????о?????????????????о??????°????????CMOS????о????????繅????????MEMS??????????????У?????????饗proof mass???????ζ???????????????????????????????????????仯??????????????x, y, z?????????????????????????????????ü??????????????????????????

??о????????????MEMS??CMOS????????????о??????С???????????????????????????????????????????????????磬?????CMOS??????????Щ??????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????о????????о??????????????????????С??????????о?????????????????????????????????????????????????

????????????

MSIF??Multi-Sensor Information Fusion???????????????????????????????????????????????????????????????????????????ü??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е????????????

?2 ????????????

MSIF???????MCM?????????????????????????????????????????????????????????в?????????????????MCM???????????????????????????????MSIF?????????????????????????????????????????

Xsens??MSIF???????ú?????????????????ó???????????ú??????????????????????棬??????????????ж???????????ù????????????????????????????????????????????????ж?????????????????????10??????????????????????????????

??????????

?????????????????????????????к?????????????MV???????????????к????????????????????????????????·????豸???????С????4??????????????????·???????????????????????????????????????

?3 ????????е???????

??????????????????????????е???á????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У????????????·??????ж????????????????????????????????????

?4 ?????????????????????????е????

mCube??????????????Xsens

?5 mCube??????????????Xsens

??С????????????????????????mCube?????????????2017??11??9?????????3D???????????????Xsens????????????????mCube??????????????о???????Xsens???????????????????????????Sensor 3.0??????????????mCube?????????????????????????mCube?????????????Xsens???????????????????????????????????????????????????????????

??????????IoT????????????????????????????????????豸????????ü??豸??????????????????????????????????????????????????????????????????????????mCube??????????????Xsens??????????????????????????г????????????Xsens??????????????????????????????????????????????????????????????????ν??????????????????飬??????????????????飬??????г???????????????????????綯????????????????????mCube??????????????Xsens???????????????????г?????????????????м???????г????????????????????г???

?????????

??mCube?????о??????WLCSP??MEMS???????MC3672??

????????????????г?-2016?桷

??InvenSense?????????+???????????????ICM-30630??

??mCube?????СLGA??????????MC3635??

??MEMS??????-2017?桷

??MEMS????г??????????????-2017?桷

??MEMS??????????????????-2017?桷

??????MEMS????????г???????????-2017?桷