??????????????????????????????Э??????????????????“???????????”?????????????????????????о??????????Cedric Ayela??????????????MEMS????????????о???????????????MEMS?о?????????????????е???????MEMS——?????????????????????????????????????????????????????????????????????????г???????????????????

??????t??????????????????????????Ayela?????????MEMS?????????????????????ɡ??л????????????????????????????е????????????????????????????????????????“????????MEMS?????в??t?????????????????????????????????????????м??????????????????????????????????α?”Ayela??????

???????????????????MEMS???????ù?????????????????д???Χ????????????????????????????????????????SU-8???????????????????????????????MEMS??????????????????????

Cedric Ayela???????OFET?????

??Ayela???о??У????????????????????????????????P(VDF-TrFE)?????????????????????????????л???Ч???????OFET???????????????????????????????????PEN??????????????С??????????о??????????Nature???????棬???“Piezoelectric polymer gated OFET: Cutting-edge electro-mechanical transducer for organic MEMS-based sensors”?????????????????????????MEMS????????????????С?????????α???????

????????????綣??????????????ε????OFET???????????繅??P(VDF-TrFE)????1-?????-1-2-4-??????PVT???????????????л????壨???屽??????????????S/D???繅?????????????????????????????Ч?????????в?????????????????????????????????????????ɡ?????????????????α??????????????????????????????е???????P(VDF-TrFE)??????????????????????p??????????????????????????OFET???????????????????????????????綣??????

?????????????OFET??MEMS????????Ayela???????о?????????????????????????棩???????????——????????л?????????5µm??????????????????????????踴????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????95%??

????????????У?????OFET????MEMS??????????????????????????????????乤?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????н?????????????￡?????0.3%???????????????????????600????????????7500ppm/%RH???????????0.2%RH??Ayela???????????????????????????????OFET????MEMS???????????????????????????

???????????????MEMS????????MEMS?????????????????????????о?????????????????????????MEMS???????÷????????ο??????????????????????????????????????????е????????????????Щ????????????????ɡ?

??????Ayela??????OFET????MEMS??????ù??????????????????????????????roll-to-roll??????????????????????????????????????????????????????????С?

??????????棬????????OFET????????????????????????л??????????????????????????????????о????????????????????“Unusual electromechanical response in rubrene single crystals”???????????OFET????MEMS??????????????????????????л???????????????????

????????

2018??5??25????5??27???????????????“MEMS????????????γ?”???????????У???????????????1??MEMS?????????????????????????????????????????????2??MEMS?????????????????????????????????????????TSV???????3??MEMS??????????????????Ч????????????4??????MEMS?????????????????MEMS???硢??????????????????????????????????????????????????????崫?????????5??MEMS?????????????6?????γ??MEMS??????Tanner?????????MEMS???-???????淽??????

???????
??????????
?綽??17368357393
E-mail??penglin@memsconsulting.com

?????????

???????????????г?-2018?桷

??????????????????????г?-2017?桷

??MEMS????г??????????????-2017?桷