?????????????????????????м?????????????????????????????м????е?????????2.2????????????????????????????????????????????????п??г?????????????????????????????1.2?????????????????????7000???

??????????????????????μ????????????????????????????????????????????????????????????????С????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????伱??????????3????

??????5000?????????????У???1600?????????????????????????????????????????????????У?????л?????????????з?????????С??????????????????????????????????????????????????????д?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????13%?????????200????????????????????????3%?????Σ?????г?????????????????????????????????????г????????????????????????????

????????????????????????????????????С?????????С??????????????????????????????????????????????л???????2??????в???????1?????豸????????????????????????????????????????????о????????????????????????o????????????????С??????С????????????淶????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г???ù?????????????г???“?????”??????????????????????????????????????г?????“????”??

?????????????????????????????棺?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????壻?????????г????????????????????????????????????з???????к????????????????????????????????????￡???????1???????????????????????????????????￡???????????2????????????????￡???????????????????????????????????????????????????滮?????в??????????????????????????????????????????1????豸??????????????????????????????????г?????????????????????????????????????λ??????????д????????????????????????????????????г????????????????

δ????????????Χ???????????????????????????????л????????????????????????????????????????????????????????????????????????黯?????緋????????????????????????????г????????????

?????????

??MEMS??????-2018?桷

??MEMS??????????г??????-2018?桷

???????????г?????-2017?桷

??????????г?????-2017?桷