???????????????MEMS??microelectromechanical system??????????????????????????????С???????????????С???????????MEMS????????????????ü????????????????????????????????MEMS???????????????г??μ????г???Anetnet Abacus?????Martin Keenan??????????????????й?????????????????￡???Щ??????????????????????????MEMS?????????????

??С?????????MEMS??????????????????????????????????????????????????е???ī??????????????????????е????????????????????????????????????????????и????MEMS????????????????

??Yole???MEMS?г?????????17.5%????????????????????26.7%????????????У????????г???????????г?????г??????????50%?????????????????е?MEMS???????????????????????2023??MEMS??????????????????????????1853????

??????????????????η????????????????г???????????????????????????????????????????????????乤?????????????????????????????????????Komatsu??С????????????????Caterpillar???????????????cat Minestar?????????????????????????????????????????????????????????????????????????з?????????????

?????????????????????????????????????????????豸????????????????????????????????????·???????е????????????????????·?????????????????????????????????????Щ?????豸????????????д??????????λ?ú?????????????????????е??????????????????????????????е???????????????????????????????

??Щ??????????GPS???????????????????????????????????Inertial Measurement Unit??IMU????λ??????????????MEMS??????IMU??????????IMU????????????????????С??10??????????嵥??н??в????????????????????????????????????????????????????????????????Щ????2????????????????????????????

MEMS???????????????????г??????????г????????????????????????MEMS?????????????????е??????????????????????????????????????????????????????????????????裬??MEMS???????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е????????????????????????MEMS??????????????????????????????

??CES 2018?У???????????????????????Robosense????MEMS??????????RS-LiDAR-M1???????????????G Plus?С?????????????????????????????????????????????2018???????????????????????????MEMS????????????????????楨????????????????????

???????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????г????У??????????????????????????????????????????????2002???????TREAD????????????????棩???????????2007????????????????????3?????????????????????TPMS?????????о??????????TPMS????????????????????????????????????????????????55.6%??

MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????ж??????????????????????????????????????MEMS????????????????????????????Χ???????????????У????????????????????????????????????????????????????????????????Σ???????????????????????ɡ????????????MEMS???????????????????????

????????????MEMS??????г????????MEMS??????????????????????С?????????г????????????????????????????????????Ч????????????????????????????????????????????￡???????????????????????

?????????

??MEMS??????-2018?桷

????????＼??-2018?桷

??MEMS??????????г??????-2018?桷

????????????????????TPMS????FXTH87??

??????????????????TPMS????SP37??