???????????????????????????????????????????NB-IoT???磬?γ?????????????????????г??????????????????????????????????д?????“???????????????????????”??????????????????????????????????????2018?й??????????????????????????й???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????????????У????????????????????????????????????????????????????????

??????????????????

“IC??MEMS???????????????м???????????????·????????????????????????????” ?й???????????Э????????????????3????????????????????????????????????(??)????б????

???????????????????????????????????????????????????繃?????????????κ?????????????????????????δ?????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????y??????仯?????????????; ???????20????70?????????????????????????????????????塢????????????????????????; ???????????????????????????

??????????????????????????????????????????洢??????????????·?????????о??????о??????????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????2016???????????????г??????258??????????й??????????????14???????

?????????????????????????????????????????м??????????????????????????Э???????????????????????????????????????????????????????????????????????

2017???????????????????????????????ж?????2017-2019?????????????????????????????????????????????????????????й???????2019???й???????????????????35??????????????????????????????25%?????????????????????

???????????????????????????????????????????????????????????????

????????г??????￡??????????????????????????????????????????????й????????????????????????????з????????????????Щ???л???????????????????????????????????????????·???????????????????????????Ч?????????????????????????????????????ò?Э???????????д?????

??壺??????????

????????????????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????ò?Э???????????????????????????????????????

???????????????????????????????????????????????????????????￠???λ??“???????????????????????????????????????????????????????????????????????塣”?????????????????????о??????????????????????(??)????????

????????????????100%?????????90%о????????????????“?????о”???????????????????????????????EJA????к????????????????????35??????????????????????????????????????

????????????????????￠????Щ??????????????????????????紐????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????н????

?????崫????????????????????崫?????????????з??????????????????????????崫???????о???????????????崫???????????????????檔?????????緋??????????о????????г??????ü????????????緋???????崫?????????????????????????????????????????????崫???????棬????????????????????????????????????????н????

???????????棬??NTC????????????????????????????90%???г??????????????????????????????????????в??????????????????????????????????????????????????

??????????

?????????????????????λ???????????????????????????????????????????????????????????δ???;????????????????????в???????????????

“???????漰???з???????????????????”????????????????????????????(??)?????“??????????????????????????????????????????????????????????”

??????????????δ???????????????????????????????????????????????δ???????????????棬???????????????漰????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????棬????????????????????????????????????????????????????????????????ù???????????????????????ù???????????????Σ???????????????????????????ù?????????????????ù???????????????????????????????????????1??2??????????

???????????棬?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????30%??70%??????????????????????δ?γ???С????????????????????????????????????????????????ú?????????

??Σ???????????????????????????????????????????????з??????????????????????????????????????н??????????????????????????1??2?????????????????????д????????30%??40%?????????????????15%?????????????????????????????????????????Щ???????￠???????GE?????Honeywell?????????蹫?????????????ABB??????????????????????????

?????????????????????????С????????? ????б???????????Щ?????????????????????????????????????????????????????????????????????繤??????????й?????????????????????????????????????≤1KPa??????????????????????????≥3MPa?????≥60MPa????

????????????????????С????????????????????????Σ??????????????????????????????????????С??????????????????1600???????С???????????????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????????г????????棻????????????????????????????????Э????????????????????????????????????????ж????????????????з?????????????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????漰??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ò??????????????????????????????????????????????????????á???????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????Χ

“???????????????á?”???????????й?????????г???????????????????????????????????????????????????????ü???????????????????????????????

??????????????????????????

“???????????????????????????????????????????????????????????????????漰??????о?????????о???”????????“??о??з???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????”

?????????????????????о????????1???????????“ICо?”?????????????о???????????????????????????????ò???????г???“???IC??MEMS??????????????”??????飬“IC??MEMS???????????????м???????????????·??”

“??????о??????????????????漰???з???????????????????”?й?????????????·?????????????Ф?????????????(??)????????“??????????????????????????????????????????????????????????”

??MEMS?????????????????????????????????????????о????MEMS?????????IC???????????????????????????????????????????????е???????????Щ??????????????IC?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????LIGA????????????????????????????????????

????о??????????о??????????????????????????????о???????????????????й????????????????15%???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????譚???????????????????

???????????????????????2???????????1???????????о???????????г??????????????????????????????????????????????????????????в??????????е???????????????????в??????????е?????????????

?????????

?????????????????????????????м?????

??MEMS??????-2018?桷

??????MEMS??????????????-2018?桷

??????????????????????á?

??MEMS??????????г??????-2018?桷

????????????????-2018?桷