?й???????????Э????????????????3??????????????????????????

?й??????????????????е??????????????????????????????????????????????????????Ч??????????

??????й???????????Э????????????????3?????????????о?????????????????????????????????????????(??)???????????????й???????????????????????????????????????

???????????

?????й????????????????????????????????????г?????????????????????????????????????????????￠???λ??

?????????????????????????????????90%о?????????????????????????????????????????????????????н?????????????ж?NTC????????????????????????????90%???г??????????????????????????????????????в?????????????

??????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????δ????????????????????????棬???????????????漰???????????????????????????????????????????;????????????????????????????????;?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Σ?????????????棬????????????????????????????????1-2????????????????????????棬????????????????????δ?γ???С??????????????????????????ú?????????

??????????????????????????????С??????????????б???????????Щ????????????????????????????????????????г?????;??и???????????????????????????????繤??????????й???????????????????????????????(????≤1KPa)??????????????????(????≥3MPa?????≥60MPa)??

????????????????????????????????????????????????1???????????????????????????????з??????????棬??????????????????з???????????????????????????????????о???????

???????????????????滮???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о??????滮???????????????????????????????????????????????????????о????????????

???壬??????????????С??????????????????????????????????????????????????????г????;??????С????????????????????????1600???????????С?????????????????????????????????????

??????????????????????????????μ???????????????????????????????з?????????????????????????????????????????????????????????????????????漰???????????????????????????????????????????????????????????????????;?????????????????ò??????????????????????????????????????????????????????á???????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????

?????Щ????????????????????????????????????????

????????棬????????滮????????????????????????????о?????????????????????г???????????????????滮??

??Σ???????????????????IC????????????????????????????????????????????д??????????????????????????????????

?????????????????????????Щ???????????????“??????”?????????????????????????????й?????????????????????

????????棬??????IC??MEMS???????????????IC??MEMS???????????????м???????????????·????????????????????????????IC???(?У)??MEMS????????????????????????????????????

??Σ?????????????2???????????1???????????о????????????????????о?????????????????????л??????????????????????????????????????????

?????о???????????????????????????????????????′???????÷?????з?????????????????????????????????????????漰??????о?????????о???????????????о??з?????????????????????????????????????????????????????????й??????????о??????????????????????“??????”?????????????о?????????“?????????о???????????????????????????????????ò???????г???”????????

???????????????????????????????????????????“??????”

????????????????????????????????????????????????????????????????50?????????????????????????????????1986??“????”?滮?н???????????????????????????????????????о????????????????Σ??γ?????????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????壬??Ρ??????????(??)?????????????????????????????????????????????????????????????·??

????????????????????????????????1991?????????????????20????20???????????????????????????????????????????У?????????????????????????????????????????????й??????й??????????????????????????????????????о???????????????????863??????

????????????????????????????????????????????????????????????y??????仯?????????????;?????????20????70??????????????????????????????????塢????????????????????????????ò?????Щ????????????硢???Ч????????????????????????????г????????????;????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????л?????廯????·??????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????崦??????Σ?????γ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????黯??????????????????緋?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????г???????????????????????????????20%????????2021????????????г???????????????????????????????????????????????????????????????????????ü???

???????????????????????????????????з??????????????????????????????????????н??????????????????????????1??2?????????????????????д????????30??40%?????????????????15%????????????????????????????????????????????Щ???????￠???

???????????????????????????GE??????Τ????????????????????????????????????????????????????治???????????????????????????δ???;????????????????????????в??;????????????????????????С???????????????????

?????????????γ?????????????????????????????з???????????????????з??????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????????з???????????????????????????;???????????????о???????????????????????????;????????????????豸??????????????????????;??????????????????????????????????????????????????????????

???????????飬??????????????????????????????????????γ??????????????????????????????????????????????????????????У??????????????н????????????????????????????????????????????????в?????????????????????????????????????????????????????￡???????????????????????????????????????????????????????????????????????г???

???????????????????й?????????????????????????

“???????????????????????????????????????????????100%????????????????????￠???”????????????????????????????????????????е??????????????????????????????????????????????к?????????

????????????????????????????????????????????????????????ɡ?“???????漰???з???????????????????”??????????“??????????????????????????????????????????????????????????”

????о??????????о??????????????????????????????о???????????????????У??????????????????15%???????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????г??????????￡???????????????????????????????

“?????????????????????á?”???????????й?????????г???????????????????????????????????????????????????????ü???????????????????????????????

?????????

?????????????????????????????м?????

??MEMS??????-2018?桷

??????MEMS??????????????-2018?桷

??????????????????????á?

??MEMS??????????г??????-2018?桷

????????????????-2018?桷