???????????????MEMS??????????A.M. Fitzgerald and Associates LLC??????Alissa Fitzgerald???????????????????MEMS?????????????δ??????????????е?????о??δ????????????????“????”????μ??????????????????????????????????????????????????????????

??????????SEMI?????MEMS????????д??MEMS & Sensors Executive Congress?????Fitzgerald?????????????“????о?????????????μ?????????????????????????MEMS?????????????о???????????????????????????”

Fitzgerald?о???????????SiTime???????????????????????棺??SiTime MEMS??????SiT1552??????Cardio??MEMS??????????????????????????????Vesper??????MEMS???????????Ъ????????????棺??Vesper????MEMS???磺VM1000????????TDK?????Chirp????????????MEMS??????????????????????????????У?????????????У??

Fitzgerald?????:“??????淽??????????????????????о??????????650????????н?????????”????????????Щ?????????????????“???????У??????????????????????”

?????????????????????????????????????????????????????????1?????????Fitzgerald??????Щ?????????д???MEMS??????????????????????

???MEMS?????MEMS?????MEMS??

??????????????????????????????????????????С????“?????????????????????????????????????????????С?????”Fitzgerald?????????μ??????????????????1??????????о?????????????????????????AlN??????????????????CEA-Leti???????????????PZT??????????????????????????????????

?????????о????????????????????AlN???????????CEA-Leti??????????????????????

?????PZT?????????????????????????????????о????????????????MEMS????????????????е??????????????PZT??????????????????????????Fitzgerald???“????????????н?????????????????3D?????????”?????????????????????

????????о??????????PZT????????MEMS???

?????????????????????????????????????????????檔“21????20??????????????????MEMS??????ο????棺????????????????????????-2019?桷???????????????????????????????????????????????????????????????AlN??PZT??????????ɡ??????????δ????MEMS????????????????90?????????????????????????????????????”

???“?????????籡?????????????????У????????????????á?”Fitzgerald???????????Щ??????????????????????

???????

“?????????????????????????”?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

Fitzgerald???“??????????Щ??????????????????????????????????????á???????????????????????????????????????????????????????”????????????????÷?Χ??????????????????????????????

?????

????????????о???Fitzgerald??????????????????о???????????????????????????????????ο????棺????????????????????????-2019?桷??

“????????????????????????”?????????“?????????????????仯???о??????????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????蹤???????????????????????????????????????????????”

???????????????о????????????????????????????????

?????????紫?????????????й???????????о???????????????????????Ч???????紥??????????????????????????????????л?????????????????????????????????????????????У??????繅????????????????????????????????????????????????Fitzgerald?????????????????????????????????????????????????????δ?????????????

?????????????????Ч???????????紥????????

????

Fitzgerald????????????????????????????????????????о?????????????ī???????????崫???????У???36?????崫???????????????????С?????????????????????????л??????????????壬?????????????????????????磬?????????????????????????У???????????????????????????????崫???????????г???????????????????????????-2018?桷??

?????????????ī????????????崫????????

??????????????????????????????????з?????????????о??????3D????????????????????????????????????

“??????????Щ?????????????????????????”Fitzgerald???“?????????????????????????????????????????”

??Щ???????????????????????????????й??????????????????????????????????????????????????????????????????????

?з????????????3D?????????????????????????

Fitzgerald???????????????MEMS???????????21????30?????????????????????????????“?????????????????????????????”??

????????

“???????????????????????????????????о???”Fitzgerald????????“????????????t????????????????????е????????????????????????????????????÷???д???”??Щ???????????????????????????

“????????”??????????????????豸????????????????????????????“?????????????????????????????????1000????????????????????е?????·????”?????????“???????????????????????????????ɡ???????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????”

?????3D????????????Ч???????3D????????????????????????Σ?????????????????????????????3D????????????????????????????????????“????”?Щ???????????

????Fitzgerald???????“??????????????????????????????????????????????????3D?????????????????????????????????”

?????????????????????????о?????????ī???????3D????????????????????????????????t????roll-to-roll????????????????????к????????????????????????????????????????????????????????????Fitzgerald???????“??????ù???????η????????????????????”

“??????????Щ?辧?????????????????????????????μ??????????????????????????????????????????????????????????????Щ?????????????Щ??????????????????”Fitzgerald??????

?????????

??SiTime MEMS??????SiT1552??

??Vesper????MEMS???磺VM1000??

????????????????????????-2019?桷

??MEMS??????-2019?桷

???????????????????????????????

????????????????????????-2019?桷??