???????

MSP10??й?(MEMS)????????????????????????????в??????????????????? ?????о??????????????δ???????????????????????????÷????????????????????????????????????·?????????????????е?????????????в?????????????????????в????????и????????????????????????????????????????????о??????????????????е????????????????????

MSP10??в????????????MEMS?????е?????????????????????????в???????????о??????????MEMS?????????л?????????γ??????????

??????
* ??Χ????????????(-40????? ?? +125 ?????)
* ????
* ???????????????о????
* ?????????????????????????????
* ???????????????????
* 75????????????? ?????????
* ±0.25% ??????? ????????

??÷???
* ???????????????????????????????????
* ????????
* ???????
* ???????? ????????λ??????????????????????????
* ????????
* ?????????