?????????????????????????????

“????????????????????????????????????????????г??У?????????????????????????????г????”????????????????????г???????????????

?????????????????????????????????????????????????????????LED?????????????з?????????????????????????????????????????????????LG?????????????衢????????????????????????????г??????????????????????????MEMS????????????г????????????????У?????????????????MEMS???????????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????????

“??????е???????????????????????????????????????ù????????????????????????????????????????????????????? 1. ????????????????????? 2. ???????? 3. ????????????????????????”???????????

????????????????????M?????????????????????????????￡?????-20° ??0°???????????????

M????????????????????????

?????????????????????????????????????￡?

???????????????????????????

?????????????????????????????????????ν???????????????????????????????????У??ù????????????????е????????????t??????????????????????????????ù????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????л??????????????

?????????????????????±5cm???????г??????????????????????????????????????????????????μ???????????????????

???????????г??????????????????????????跽???????????????????????????????????г????????????????????

???????????????????????????棬???????????????????????????У???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????