???????????????Silicon Microstructures, Inc.??SMI???????SM933X??г???MEMS??????????????????????????????У??????????????????????Χ????125 Pa??0.50 inH2O????????HVAC???????????????????????????????????С?SMI?????????е?MEMS????????????????????????IC?????????????У??????????????????????1%FS?????????????

????в??????????????????????????Χ?+/- 125 Pa??0.50 inH2O????SM9333??????????Χ?+/- 250 Pa??1 inH2O????SM9336????16λ????????????????0.0038 Pa?????????????????????????????????????????????????????????????

SMI???SM933X??г???MEMS???????????????????

SM933X??????????Χ?3.0~5.5 V???????????????????????????????????á???ASIC????????????????????????????????EMI??ж??

???t???????????С??SO16????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????а????????ж??

???????HVAC??CPAP????????????

SM933X??д??????????????????????????????????????????Σ??????????????????????????????е?????????????????????HVAC???????????????????VAV???е?????????????????????????????????????????AHU?е??????????

?????????г??????????????????????CPAP?????????????????????????????С?SM933X??д?????????????????У???????????????????????????????CPAP???????????м??????á?????SM933X??д????????????????е?????????????????С?????е????????????????????????????????豸?????????????????????????e??????????????????????

“SMI??90???????????????MEMS??????????????????λ??????SM933X??е???????ù???????????????????????????”SMI??ü??????й?Omar Abed???“??????????????????????????????????????????????2????е?????????2 inH2O???3?????????????????μ????????????????????????????????????????????????????”

????Silicon Microstructures

Silicon Microstructures??Elmos?????彎???????????ù?????????????IC?????????????????????????и?????????г??????????????Silicon Microstructures?????ISO?????????????MEMS??????????????????????????????????г?????25??Silicon Microstructures????????????????????????????????????????г????????????С??MEMS???????????

?????????

????????????г?-2017?桷

???????????豸?г?-2017?桷

????????Bosch?????????????BMP380??

????????????????г?-2017?桷

??Melexis???????????????MLX91802??

??Melexis??????????????MLX90809??