- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
?????????????????????????????????????????豸
2019-04-13 19:54:36 ???????????? ?????0 ?????
??????????????????????????о??????CNRS?????о?С?????÷??????????????????????????????????????????????????????????г????????????????????????????????ɡ?
???о??????????????????Nature Partner Journals, npj????npj-????????????????????“Polymeric foams for flexible and highly sensitive low-pressure capacitive sensors”??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????????????CB???????????????????????????PDMS?????С?????????????????????????γ?????????????y??????ο??????????????????????????????????????????????????????繅??????γ?????????ν????????????????????????
??????鯔????????????????????????о???????????1.2mm?????????????м???10 wt %????????????????????????????????0 ~ 0.2kPa??Χ????????????35.1kPa⁻¹??0.2 ~ 1.5kPa??Χ????????????6.6kPa⁻¹??
??????????PDMS???б???????????????
?????ò?????и?????????100pF?????????????κ???????????£?????????????????豸???????????1v??????????????????????????????????????????????????1kPa????????????????100nW?????10MΩ???裩???о????????????????????????????Ч????????????????
???????????????????????????????????????????????????????仯?????????λ????????
?о?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????AI?????????????????????????
???????????????????????????????????????????????????????????????????????“????”?????????????????????е??????????о????????????????????仯????0.1 kPa??????????????????????????????????
?????????
????????????????????? PDMS ??????豸 ???????
??????????????????????????????????????
??????????????з???????????????????????????
??????????
- ????????????MEMS?????????????????????????????????
- ????????????????????????????????????????
- 1??????????С????????MEMS?????????о?????
- ?????MEMS???????????????????????????????????????
- ??????????????????????MEMS??????????о????
- ????л??????????????????????????????
- ????????????????LC?????????????
- ????????????????????????????????????
- ????????????????????NEMS????????
- ??????????????????????????仯???????????
???????????
- 2.9K?????MEMS???????????????????????????????????????
- 2.5K????MEMS????????Cr????V2O3???????????о?
- 2.3K?????????????????????????????????????
- 1.8K??????????????????????е?????????????????
- 1.8K??ī????????ī??????????????????????????豸
- 1.6K????????????CMOS-MEMS??????????????SoC?????????
- 1.1K?????PZT??紫???????????????????????????????
- 738??????????????????????·?????????????????????????