?????????λ?????????????????????????????????????????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????о????????????????????????????????????????????????????????Щ????????????????????????????????????????????????????????/??????/???/?????/????????????????????????Χ???????Щ?????

?????????Stanford University???о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Zhenan Bao??????????????????????????????“????”????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ν?????????????????????????????????????????????????????????????Щ???bump???????“????”????????????

???????????????????й?????????????????????????????????????????????????????????????????“???”???????????????????????????????“???”????????????????С?

?????????????????????????е?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С????????????o????????????????????????????????????壩?????????????

????????????????????????????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????н?????????С????????????????????γ????????в?????е?????????????????????????????????polyurethane, PU???????????carbon-nanotube, CNT???????????繅?????????????????????????????????棩?????????У??????1????

?1 ??????????????????A??—??????????????????????????????????1mm????????????е?????????????1 mm?????20 μm????i?????м??????10 μm??????????????????繅???????ii?????????????60 μm?????н????????е???????iii?????繅????????????????????????????????????????????У??繅???300 μm???????繅??????50 μm??????????????????????????繅?????д????????????B??????????????????????-?????????????LCR????????????????????????????????????????????SEM??????????????-??????????????????????C????

??????Щ?в??????????????????????????????????ν?????????????????????????????????????Ρ???????????????????????????????????????е??????Щ?????????????????????????????????????????25?????????????????????С?90,000 μm2???????1??????????б????4????????????????????1???????????????Χ??16???????????2????

?2 Χ?????????????????????λ????????????1??λ???????4??λ??б?￡?4??λ?????16??λ???????Χ??

λ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????б???????3????Χ??????????????????????????????????????????????????????????????????????

?3 ??????????????????????????????????????5 × 5???????????????е??????????????????????a??????????????b?????????б????c????????????????????????????5%??ΔC/Cmin?仯?????????????????????????????

????????????о???????????????????????????????????????SNR????????????????????????????????磨????10??20??30??40??50 μm?????????????b/a=0.4??0.8??1.2??1.6??2??4??????a + b?????????????????????????

???????????????????????????????????????KUKA IIWA????????????Schunk??WSG 50?о??????????????????÷?????·?е?в??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????幦???????????????????????4????

?4 ?????????????????????????????????￡?????????????

???????????????????????????????????????????????????????????Science Robotics??????????????????????????????У?????????“A hierarchically patterned, bioinspired e-skin able to detect the direction of applied pressure for robotics”???????????????

?????о??????е????????????????????????Swiss National Science Foundation???????????the European Commission???????????????????National Science Foundation????????????????????Stanford Nano Shared Facilities????????

?????????

??MEMS??????????г??????-2018?桷

??MEMS???????????????-2018?桷

??????MEMS??????????????-2018?桷