- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
???????з??????????????????????????????????
2022-02-26 11:31:01 ???????????? ?????0 ?????
??????????????????????????????????????MEMS????????????????????ν????о??????Microsystems & Nanoengineering?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????£????????????????97.13%????????λ?ú??????????????
???????????ν???
??????-??????????seamless resistance-capacitance structural multimode??SRCSM????????????ò????
??????????????????????????????????????????????????????????Σ?????????????????????????????????????????????????????С???????????????????漰?????????????????????????????????????/??????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ???????????????????????????????????????????£??????????????????????????????????????????Щ??е?????????????????????/???????????????????????б??????????????????????????????????????????????
???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ??????????????????????????????????????е????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
???????????ν????о????????????????????????-??????????seamless resistance-capacitance structural multimode??SRCSM???????????????????????????????????????????????????????????????SRCSM??????????????????????????У??y???????????????????????????????????????????????????????-??????л???????????????о??????????????????????????????????????
SRCSM??????????????
SRCSM??????????
??????SRCSM????????????????????????????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????SRCSM????????????????????????о???????????????????磨long short-term memory??LSTM???????????????????????????????з????????????????????????????????????????????????????????30°??????????45°??????????45°????????????94.64%??97.78%??94.44%????????????????????????????100%?????????????????????????????????????????????????????????74.79%??77.36%??97.13%???????SRCSM??????????????????????????????????SRCSM??????????????????????????????????????????????
SRCSM??????????????????Χ?????????
SRCSM??????????????????е????
?????????о???????????????о???????????????????????Ч????????????Я????????????????????????????豸?????????????????????????????п???????????????????
?????????
Wen, L., Nie, M., Chen, P. et al. Wearable multimode sensor with a seamless integrated structure for recognition of different joint motion states with the assistance of a deep learning algorithm. Microsyst Nanoeng 8, 24 (2022).
https://doi.org/10.1038/s41378-022-00358-2
?????????
??????????????????????? ?????????
??????TDK???????????AVD???MEMS??????????????????????
???????????巢????????MEMS?????????????????????????η??
??????????
- ????????????MEMS?????????????????????????????????
- ????????????????????????????????????????
- 1??????????С????????MEMS?????????о?????
- ?????MEMS???????????????????????????????????????
- ??????????????????????MEMS??????????о????
- ????л??????????????????????????????
- ????????????????LC?????????????
- ????????????????????????????????????
- ????????????????????NEMS????????
- ??????????????????????????仯???????????
???????????
- 2.9K?????MEMS???????????????????????????????????????
- 2.5K????MEMS????????Cr????V2O3???????????о?
- 2.3K?????????????????????????????????????
- 1.8K??????????????????????е?????????????????
- 1.8K??ī????????ī??????????????????????????豸
- 1.6K????????????CMOS-MEMS??????????????SoC?????????
- 1.1K?????PZT??紫???????????????????????????????
- 738??????????????????????·?????????????????????????