- ???????????MEMS??????????????????????Ч??

- ????MEMS??????ж?????????????????????ML????????紫?С?

???????????????????????????????????????????????MEMS???????????????壨STMicroelectronics?????ST????????????????STM?????????????????????MEMS???????????С??????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????η????

MEMS?????????????????????????????????????Щ??????????????????????????豸???????????????????????????????????MEMS?????????????????????????μ?????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????е???????????????????????????????????????????????????

????MEMS??????е?????????????????????????MLC??????紫?С?MLC????????????е???????????????????????????????仯??QVAR??????????????????????????????????????????????????????????仯??????QVAR????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????e?????????????????????????????

??????MEMS??????Simone Ferri?????“???????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????′???????????????????????????紫?к?????????????????????????????????Onlife?????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????”

???????????????????????LPS22DF??LPS28DFW???????????????????????乤???????1.7 µA??????????????0.5 hPa??LPS28DFW??????????????????????o???????????????λ???????????Χ????????1260 hPa??4060 hPa???????30 m????????????????????????????Я??豸???????豸??????????????????????????????????????e?????????????????е??

???????MEMS??????LIS2DU12????????????????????????????????????????????俹????????????????????г????????LIS2DU12??100 Hz????????????ODR???μ????????3.5 µA??????????I3C????????MEMS?????????????Щ?????????????С??2.0 mm x 2.0 mm x 0.74 mm????С??????????????????????豸????????????????????????TWS????????????????????????κα???????????????á?

???6??iNEMO???????LSM6DSV16X????QVAR???紫?У????MLC????????????FSM???????????????????????乤???????????12 µA???μ?FSM?????????????????ASC??????????6??MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????????н????????????????????????????????????

????????????LPS22DF??2.0 mm x 2.0 mm x 0.73 mm 10-lead LGA?????eStore???????LPS28DFW??2.8 mm x 2.8 mm x 1.95 mm 7-lead LGA?????eStore???????????????????????????????????????????????????1.90?????LIS2DU12??LSM6DSV16X?????2022????Щ????????

??????????

?????????48000?????弼??????????????????????壨??MEMS???????????????????豸?????????????????????????????????????????????????????????????????з??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????и??????????????????????Ч??????????5G????????????????????????2027???????к??

?????????

???????????????г?????-2020?桷

???????????????????????????????-2021?桷

????????????????????г?-2020?桷

??????????????г?-2021?桷

??????????????????????г?-2021?桷??