- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
???????????????????????????????????????????????
2022-05-27 15:22:16 ???????????? ?????0 ?????
??????????????????????????л??????о???????????????????????????????????????????????????λ??????????????Σ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????Nature Communications?????
???????????????????????2??????????????????????????????????????????????????????????????????仯?????????????????????
???????о??У?л??????о?????????????????????????????????????·?????????????С?ɡ????????????????????????????????У?????????????????????????·?????????????????????????????????????????Ч????????????WPT????·????????????????????????????????????????????????????峺??壬?????????????????????????????????????????????Ч?????翪???
??????????????????????????????
???????????о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
????????????????????????
????????????????????????ɡ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????п???????????ī?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
???????????????????????????????????????
???????????????????к?????????
?о??????????????????????????????????е??????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
?????????https://doi.org/10.1038/s41467-022-29860-x
?????????
??????????????????? ?????? ??????
?????????ī???????ZnO???????????????????
????????????????У????ü??????????????????????????????
??????????
- ????????????MEMS?????????????????????????????????
- ????????????????????????????????????????
- 1??????????С????????MEMS?????????о?????
- ?????MEMS???????????????????????????????????????
- ??????????????????????MEMS??????????о????
- ????л??????????????????????????????
- ????????????????LC?????????????
- ????????????????????????????????????
- ????????????????????NEMS????????
- ??????????????????????????仯???????????
???????????
- 2.9K?????MEMS???????????????????????????????????????
- 2.5K????MEMS????????Cr????V2O3???????????о?
- 2.3K?????????????????????????????????????
- 1.8K??????????????????????е?????????????????
- 1.8K??ī????????ī??????????????????????????豸
- 1.6K????????????CMOS-MEMS??????????????SoC?????????
- 1.1K?????PZT??紫???????????????????????????????
- 738??????????????????????·?????????????????????????