??????????????????????????????????????????????????????????????о??????о???????????????ó???????????????????ж??????????????????????и??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????á??????????????????????豸????ó???????????????????Χ????????????????о???????????Microsystems & Nanoengineering?????

a?????о??????????????????????????????????b?????????????????????????c??????????????????PμSL??3D????????????????10μm?????????????

?????????????????????????о?????????壬???ж??????????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????壨???綈????????????????????kirigami???????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Χ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????У??о??????????в???????????????????????μ??????????????????????????????????ú???????????μ?????????????о?????????????????????ο?????????????????FEA?????????????????β????????????????????????????????????

a??????MWCNT/PDMS??б???????????????b????????????????????????c????????3D??????????d?????в?????????????????SEM???

?о????????????????????????????Щ?????????????????????Χ???200 kPa??????????????????????0.7??1.0??1.3 kPa⁻¹???????????R₂≈0.99???????????????????????????????????????????????????????12.5/37.5 ms????????/??????35 Pa???С??????LOD?????????10000?????????/ж????????????????????????????????????????????????????????????ó????????????????????Χ??????????????

a–c??Δ I/I0????????????Χ?0~200 kPa??????????????????????????????????????0.7??1.0??1.3 kPa⁻¹??d?????300 μm??????????????????????????e?????????f?????????????/??????g??−2~2 V????μ????????h??10000?μ???/ж??????μ???п???????

?????о????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????δ???????????????????????????????????????????????????????????

a–b?????????????????????????仯??c??????????????????????????λ???d??????????????e????????????????????в??????????????????????仯??f????10??????????????????????????????????>86.0%??g???????????????????????????????Ч?????????????????????μ??????

???о???ù??????????????????????????з???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????https://doi.org/10.1038/s41378-022-00477-w

?????????

????????????????????г?-2022?桷

?????????????г?-2021?桷

??????????????????????г?-2021?桷

??Merit Sensor???????????MEMSо???????

???????????????BMP581???????????