- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
????????????????????????????????г????????Χ????????
2023-06-11 09:32:14 ???????????? ?????0 ?????
??Щ???????????????????????????????????????????£????????????Χ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????1700 kPa?????Χ?????????33.7 kPa⁻¹????????0.36 Pa????2000 kPa?μ??????????0.00725%???????????????????/????????????????????????????????????????????е???????????????????/??????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????μ??·??????о???????????Nature Communications?????
???о?????????????????????
???????о??????У??о????????????t??и????????CO₂??????????????????????????GPM?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????κ???????????????????????????????????????????Ρ???????????????????壨IL??????????????????/?繅?????γ?????EDL????????????????????????????????κ?????????????????????????????????????????1700 kPa???????????з?Χ??????????????33.7 kPa⁻¹???????????????0.99???????????????????????????????????????С????????????????????????????????0.36 Pa???????????????????2000 Pa????145 Pa???С????仯????????0.00725%????????????
????????????????????????????????????????
???????????EDL??Ч???????????????
?????????????????????????????????????????50 wt%??
????????????????????ж?????λ???????????????????????С????仯??????????????????????????ɡ??о????????????????????????????г?????????????????????????????????????????????е?????????????У???????????????????????????????????????????????豸???????????????????Э?????е??????
????????????????????????????????????????????????е????
?о??????????????????????????????????????????з?Χ????и??????????????д????????????磬????????????????????????????????????????????????????Χ???????????????????仯???????繅??????????????????????????????????????????????仯?????????????????????????????????????з?Χ????δ????????У??о????????????????????????????????????????????????
?????????https://doi.org/10.1038/s41467-023-38274-2
?????????
????????????????????? ?????????
???????????????????????????????????????е????
??????????????????????????????????????????????????????????
??????????
- ????????????MEMS?????????????????????????????????
- ????????????????????????????????????????
- 1??????????С????????MEMS?????????о?????
- ?????MEMS???????????????????????????????????????
- ??????????????????????MEMS??????????о????
- ????л??????????????????????????????
- ????????????????LC?????????????
- ????????????????????????????????????
- ????????????????????NEMS????????
- ??????????????????????????仯???????????
???????????
- 2.9K?????MEMS???????????????????????????????????????
- 2.5K????MEMS????????Cr????V2O3???????????о?
- 2.3K?????????????????????????????????????
- 1.8K??????????????????????е?????????????????
- 1.8K??ī????????ī??????????????????????????豸
- 1.6K????????????CMOS-MEMS??????????????SoC?????????
- 1.1K?????PZT??紫???????????????????????????????
- 738??????????????????????·?????????????????????????