- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
??????????????????????????????????????????????????
2023-10-14 20:16:38 ???????????? ?????0 ?????
??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
???????????????????????????????????????University of Pennsylvania?????????????????Ohio State University??????????????Microsystems & Nanoengineering????????????“An implantable, wireless, battery-free system for tactile pressure sensing”???????????????????????????Lin Du?????????Andrew G. Richardson??Mark G. Allen??
?????о????ù??MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????“????”????????????????????????????????????????????棨BMI?????????????÷????????????????????????????????????????????
????????????????????????????????????????????????????????????????·????????????????????????κ?????λ?????????????????????????????·???????????????????????????1a????????????????о????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????顢???????????1b????????????о??????????????ASICо??????????????????????????У??????????????к????硢??????????????????????????3??????????????á?
?1 ??????????????????
???????????????????????2?????????????????????£??????и?????????繅????????????????μ繅???м??????????????2a???????????????????????????????????£???????м???????????С?繅????????????μ繅???????????2b????????????????????????????????繅??????????μ繅?????????????????????2c?????????????????????????ù?????????????/?????AC/DC??????????????COMSOL Multiphysics???棨???2d????
?2 ??????????????????????????????
?????????????????????????????????????????????????????????????????-?????????????????о???????????????????????????????μ?????????????????????3?????
?3 “??”??????????
????о????????????????飬????????????????????????????÷????????????μ??????????????4?????
?4 ??????????????
?????????????????????????????????о??????????????о???????????3 mm???????????????????????????5????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
?5 ???????鳤???????????????????????????о?
???????????????????????????????????????????????о????????????????????????????????????6????
?6 ??????????????????????????????
???????????о???????????????????μ????????????????????????????????????????????????????????????????????????·?????????????????????????ɡ???????????????“??”???????鳤???????????????????????????????????????????????????????????????4.3 mN???????????????????????????????????б?????????????????????????????????????????????????????????????????????y??????μ??????????
?????о???????????????????о??????R01NS107550??????????????
?????????https://doi.org/10.1038/s41378-023-00602-3
?????????
?????????????????????? ????????? MEMS
?????????????????????????????????????????????
???????????????????????м?????????????????????????
??????????
- ????????????MEMS?????????????????????????????????
- ????????????????????????????????????????
- 1??????????С????????MEMS?????????о?????
- ?????MEMS???????????????????????????????????????
- ??????????????????????MEMS??????????о????
- ????л??????????????????????????????
- ????????????????LC?????????????
- ????????????????????????????????????
- ????????????????????NEMS????????
- ??????????????????????????仯???????????
???????????
- 2.9K?????MEMS???????????????????????????????????????
- 2.5K????MEMS????????Cr????V2O3???????????о?
- 2.3K?????????????????????????????????????
- 1.8K??????????????????????е?????????????????
- 1.8K??ī????????ī??????????????????????????豸
- 1.6K????????????CMOS-MEMS??????????????SoC?????????
- 1.1K?????PZT??紫???????????????????????????????
- 738??????????????????????·?????????????????????????