- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
????????????????????????????????????????????
2023-10-29 10:42:01 ???????????? ?????0 ?????
???????????????????????崫????????????????????????????????????а????Ч???????????
??????????????????????????е???????????University of British Columbia??????????\???о????Honda R&D Co., Ltd?????о?????????????Scientific Reports?????????????“Touch, press and stroke: a soft capacitive sensor skin”????????????????????????????????????????????????????????????????????
???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????κ????塣?????崫???????????????ε????????????????????????????????????????????????????????????С??2.5%???????????????С??10%?????????????????????????0.49 kPa??0.31 kPa????Сλ???????40 μm??????????????????Χ???15 mm??????????????????г???????С???Щ???????????????????????????λ????????????????????????
????????崫???????????????1????????????????????繅???????????У?????????????????λ??????????3??????????????????????е繅??E1–E4???????????????????繅?????1A??????γ????C1–C4???????????繅???????????????X1?????????????X2????糡???????????1B?????AD7745????????????????·???????????????β???????????繅?????ο???????????Щ?????仯???????????????
??????????????????????????????????????????????????糡???1B?б???X3?????????????????????????е???C1–C4???????????????????????繅E1-E4?????????繅????????????????????C1-C4???1C???????????????????????????E3??????????????????繅??????????????????C3??E1?????????????????????繅??????????????????C1???1D??????????????????C2??C4??????С??????????????繅??????????и??C1-C4??????仯???????x????е??????????????й???д?С????????????
?1 ???崫?????????????
?о????????????????????????????????????????崫???????????????-?????-????MPB?????????????????2A-2D?????
?2 ???崫????????????
???崫?????????-???????3A???????????С???????Ч???????E1?????????????????Ч???????E2???????????????????3B-3E????????????????????????
?3 ???崫?????????????????
?о?????????崫?????????????????????4?????
?4 ???崫?????????
?о???????????????????????????????????????????????????????15 mm?????????????5A????????????????5B?????
?5 ???崫???????????????
???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з????????????????????????????????????????????????Ham??????????????????????ò?????и?????????????????????????????????????????????????????????С??/??????????????????????????????/?????????????汾?????????
????????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????????У????γ?????????????????????????С?????????????????????????????????????Ч?????價????????
?????????https://doi.org/10.1038/s41598-023-43714-6
?????????
??????????????????????? ???崫????
?????????????MEMS?????????????????????????????????е????
??????????????????????????????????????????????????
??????????
- ????????????MEMS?????????????????????????????????
- ????????????????????????????????????????
- 1??????????С????????MEMS?????????о?????
- ?????MEMS???????????????????????????????????????
- ??????????????????????MEMS??????????о????
- ????л??????????????????????????????
- ????????????????LC?????????????
- ????????????????????????????????????
- ????????????????????NEMS????????
- ??????????????????????????仯???????????
???????????
- 2.9K?????MEMS???????????????????????????????????????
- 2.5K????MEMS????????Cr????V2O3???????????о?
- 2.3K?????????????????????????????????????
- 1.8K??????????????????????е?????????????????
- 1.8K??ī????????ī??????????????????????????豸
- 1.6K????????????CMOS-MEMS??????????????SoC?????????
- 1.1K?????PZT??紫???????????????????????????????
- 738??????????????????????·?????????????????????????