- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
????????????????????????????????????????????
2024-02-19 20:18:12 ???????????? ?????0 ?????
???????????????????????????????????貧???????Ч?????????????????????á????????????????????????????????????????????????????????Ρ??????κ??????????????????????????????????????????????
?????????????????????????????????о?????????????????MW-CNT??????????????饗PDMS?????????????????????????microslit????????????????????????????????2.477 MPa????18.092 kPa⁻¹???????????????????????????????400 kPa???′?Χ???Σ?????????Χ?????????????????????????????????????к????彡????????????????÷???????Ч???????Щ????У??????400 kPa?????????????????????????32.74%??????£????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о??????“Flexible pressure sensors with ultrahigh stress tolerance enabled by periodic microslits”???????Microsystems & Nanoengineering??????
???????о??У?????????????????????繅??????????????????????????MW-CNT??PDMS??????????????????????????????÷??????????????????????????????С???????????????в??MW-CNT/PDMS????????????У????????????????????????????????о??????????MW-CNT/PDMS??Э??????????????????????
???????????????????
?????????????????????????Э??????????????????????????????????????????400 kPa????????????????????????????????2.477 MPa???????0-10 kPa?????Χ?????????18.092 kPa⁻¹???????????????????????????Ч????????β??????????????????????Χ?????????λ?????????????????????????????γ??????????????????????????????50,000?μ???/ж?????????飬???????????????????????????????
??????????????MW-CNT/PDMS??0.2:1??????????????????
?????????У?????????400 kPa??????£???????????????????????????????????????????????е?????????????????±???????Σ?????????????????????????й????????????????????????????????????????彡??????????????????в????
???????????????????????
?????????о????????????????????????????MW-CNT/PDMS??貧??????????????????????????????Э?Ч???????????????????????????????2.477 MPa??????18.092 kPa⁻¹?????????????????????????????????????????????????????????????????????У??????????????????????????????е???Ч????????о?????г????????????????????????????????????м???????????????????δ?????????????????????
?????????https://www.nature.com/articles/s41378-023-00639-4
?????????
???????????????BMP581?????????
??Merit Sensor???????????MEMSо???????
????????????????????? ?????????
?????????????????·?????????????????????????????????????????????
??????????????紫????????????????????????????????????????
??????????
- ????????????MEMS?????????????????????????????????
- ????????????????????????????????????????
- 1??????????С????????MEMS?????????о?????
- ?????MEMS???????????????????????????????????????
- ??????????????????????MEMS??????????о????
- ????л??????????????????????????????
- ????????????????LC?????????????
- ????????????????????????????????????
- ????????????????????NEMS????????
- ??????????????????????????仯???????????
???????????
- 2.9K?????MEMS???????????????????????????????????????
- 2.5K????MEMS????????Cr????V2O3???????????о?
- 2.3K?????????????????????????????????????
- 1.8K??????????????????????е?????????????????
- 1.8K??ī????????ī??????????????????????????豸
- 1.6K????????????CMOS-MEMS??????????????SoC?????????
- 1.1K?????PZT??紫???????????????????????????????
- 738??????????????????????·?????????????????????????